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SURFACE-PLD 德國SURFACE超高真空脈沖激光鍍膜系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 上海納騰儀器有限公司
  • 品牌
  • 型號 SURFACE-PLD
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2024/6/17 16:46:57
  • 訪問次數(shù) 2489

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上海納騰儀器有限公司是從事掃描探針顯微鏡(SPM)銷售的專業(yè)公司。公司作為俄羅斯NT-MDT在中國大陸及港、澳地區(qū)的經(jīng)銷商(RESELLER),在掃描探針顯微鏡(SPM)領域有多年的實踐經(jīng)驗,擁有一支成熟的銷售、技術(shù)團隊,迄今已累計銷售超過100臺(套)儀器。



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 德國SURFACE超高真空脈沖激光鍍膜系統(tǒng)

        德國SURFACE公司自1993年起就從事脈沖激光沉積鍍膜系統(tǒng)(PLD)的研發(fā)和制造工作,在這期間SURFACE公司不但向市場提供了標準的PLD系統(tǒng),而且也提供專門為客戶訂制的PLD系統(tǒng)。經(jīng)過了這么多年的發(fā)展,SURFACE公司開發(fā)出許多能夠滿足客戶需求的產(chǎn)品和技術(shù)。

 

1SURFACE基底運載系統(tǒng)

對機械來說,熱均勻和熱隔離的有效性是十分重要的。這其中,精確的熱電偶是關鍵的質(zhì)量因素。SURFACE常規(guī)電阻1英寸基底運載器、嵌入式Omicron原子力基底夾、熱電偶直接嵌入基底運載系統(tǒng),30mm的基底中間區(qū)域、基底和銀醬一起安裝在激光切邊運載器上。運載系統(tǒng)可轉(zhuǎn)換并直接嵌入熱電偶這保證大多數(shù)的溫度測量。

 

 

 

2、靶切換系統(tǒng)

超高真空技術(shù)需要反應釜通過一個負載鎖的腔體進行相互作用。從一開始,SURFACE就意識到這一點,并設計了一個靶轉(zhuǎn)盤來實現(xiàn)這一需求。多層蓋板避免了強熱的基底轉(zhuǎn)移到靶材。所有靶材是受保護,以防止交叉污染。蓋板能夠非常容易地被更換,無需工具。靶材將通過磁場操縱或位于*轉(zhuǎn)移腔的內(nèi)部轉(zhuǎn)移操縱手被轉(zhuǎn)移。該耦合和靶材的精確檢索是自動完成的。靶轉(zhuǎn)盤和切換動力保證了均質(zhì)燒蝕過程。

 

 

 

3、模塊化的系統(tǒng)概念

SURFACE公司多年來一直從事于研發(fā)超高真空材料科學系統(tǒng)。在大多數(shù)情況下,一個系統(tǒng)的工作負載起始于一個單一的過程控制,往往過了一段時間以后,客戶的需求會增多。為了通過附加的過程控制提升整套設備的功能,SURFACE公司認識到需要用完整的模塊化概念來解決這個問題。從向市場提供單一的腔體加上負載鎖,一直到提供更多的擴展,而不需要冒任何將來轉(zhuǎn)換而產(chǎn)生的風險。



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