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薄膜材料的納米力學(xué)測試解決方案

檢測樣品:硅基上超薄薄膜

檢測項目:彈性模量

方案概述:布魯克TI系列納米材料機械性能,壓痕,劃痕,摩擦磨損具有精度很高,結(jié)合原位AFM功能,可獲得準(zhǔn)確數(shù)據(jù),排除環(huán)境因素,底材因素。

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更新時間2021年04月09日

上傳企業(yè)冠乾科技(上海)有限公司

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通過研發(fā)的 xProbe超低噪音傳感探頭,可以獲得超薄涂層<10nm薄膜的機械性能。避免底材的受到機械力產(chǎn)生的形變數(shù)據(jù)影響。

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