光敏樹脂又稱“光刻膠”，是一種在受光線（紫外線）照射時(shí)其自身特性會(huì)發(fā)生變化的材料。光刻膠具有分辨率高、微加工以及在短時(shí)間內(nèi)形成耐蝕刻薄膜能力等特征。

這種材料廣泛應(yīng)用于印刷電路板布線、電子零部件制造和印刷制版等領(lǐng)域。在其他示例中，短時(shí)間固化型紫外線粘合劑用于更廣泛的領(lǐng)域（例如，電子產(chǎn)品和光學(xué)電子產(chǎn)品以及醫(yī)學(xué)領(lǐng)域、玻璃制品和建筑）。

在開(kāi)發(fā)新的光敏樹脂時(shí)，固化反應(yīng)熱是必須評(píng)估的特性之一。包括曝光波長(zhǎng)、照射強(qiáng)度和反應(yīng)溫度在內(nèi)的光固化期間，條件會(huì)改變耐蝕刻薄膜的形成。因此，在嘗試形成最佳耐蝕刻薄膜時(shí)，必須考慮各種固化條件。

通過(guò)使用差示掃描量熱儀（DSC）和具有光化學(xué)反應(yīng)量熱儀（PDC）的紫外線照射裝置，可以實(shí)時(shí)測(cè)量受UV（紫外線）照射時(shí)的固化反應(yīng)熱。

光化學(xué)反應(yīng)量熱儀（PDC）如何工作？

PDC與DSC結(jié)合使用，并通過(guò)光導(dǎo)裝置，使用來(lái)自UV光源的紫外光照射樣品。通過(guò)安裝光照射附件，從護(hù)套上方插入光導(dǎo)裝置，可以經(jīng)由石英蓋，使用光照射樣品和參比樣品。

可通過(guò)使用冷卻裝置、電子冷卻裝置或自動(dòng)液氮冷卻裝置中的任意一種，防止照射光的熱量引起的溫度升高，并且可以在等溫條件下測(cè)量溫度。

圖1：光化學(xué)反應(yīng)量熱儀

PDC提供哪些現(xiàn)象的信息？

當(dāng)改變曝光波長(zhǎng)、照射強(qiáng)度或照射時(shí)間時(shí)，PDC可以測(cè)量固化反應(yīng)中的熱量和固化速度。例如，照射強(qiáng)度為1、2、10、20、100和500mW/cm ²時(shí)的照射測(cè)量結(jié)果如圖1所示。隨著照射強(qiáng)度的增加，放熱量也有增大的趨勢(shì)，可知固化反應(yīng)量增加。放熱峰的反應(yīng)開(kāi)始至峰頂所需時(shí)間也更短，可知固化反應(yīng)的速度更快了。

圖1：照射強(qiáng)度差異

使用PDC的優(yōu)勢(shì)？

? 高輸出紫外線光源

          ?  照射強(qiáng)度最高500mW/cm²

          ? 照射強(qiáng)度易于調(diào)節(jié)

          ? 與正常分析相同的儀器蓋

          ? 相似的操作流程和提高再現(xiàn)性

      ? 波長(zhǎng)選擇濾波器

          ? 254, 313, 365, 405, 和 436 波長(zhǎng)

          ? 易于更換的濾波器

? 可使用通用DSC – 不執(zhí)行光照時(shí)易于拆卸。

使用PDC的測(cè)量示例

對(duì)于印刷電路板蝕刻中使用的1mg干膜光刻膠，使用PDC的測(cè)量結(jié)果如下所示。為研究固化引起的熱值差異，在不同照射光波長(zhǎng)、照射強(qiáng)度和固化反應(yīng)溫度條件下執(zhí)行測(cè)量。光源是汞/氙燈，照射光波長(zhǎng)選自于波長(zhǎng)濾波器。

不同照射強(qiáng)度的DSC測(cè)量結(jié)果如圖2所示。照射波長(zhǎng)為365nm。在測(cè)量開(kāi)始后一分鐘開(kāi)始照射，使用四種照射強(qiáng)度：1、5、10和50mW/cm²。照射后，光固化反應(yīng)立即產(chǎn)生放熱，約6分鐘后，反應(yīng)結(jié)束。通常，照射強(qiáng)度越高，反應(yīng)的能量越高。該原理同樣適用于照射強(qiáng)度較低時(shí)，在此情況下，不能完全進(jìn)行固化反應(yīng)，聚合度降低。

圖2：干膜在不同照射強(qiáng)度下的DSC曲線     照射波長(zhǎng)：365nm  測(cè)量溫度：25 ℃

通過(guò)峰面積積分軟件，為圖2中的測(cè)量結(jié)果創(chuàng)建圖3所示的積分曲線?？偯娣e在縱軸上設(shè)定為100%，并顯示每個(gè)時(shí)間段的峰值百分比。結(jié)果表明，照射強(qiáng)度越高，積分曲線的初始上升幅度越大，固化反應(yīng)速率越快。

圖3：熱值積分曲線 照射波長(zhǎng)：365nm 測(cè)量溫度：25 ℃

不同照射波長(zhǎng)的DSC測(cè)量結(jié)果如圖4所示。照射強(qiáng)度為5mW/cm²，照射波長(zhǎng)選自五臺(tái)干涉濾波器。根據(jù)這些結(jié)果，當(dāng)照射波長(zhǎng)為365或405nm時(shí)，該測(cè)量樣品的峰值特別大，這表明波長(zhǎng)對(duì)反應(yīng)速率具有大影響。該示例表明，在測(cè)量照射固化時(shí)，必須謹(jǐn)慎選擇照射波長(zhǎng)。

圖4：不同照射波長(zhǎng)下的干膜DSC曲線 照射強(qiáng)度：5mW/cm² 測(cè)量溫度：25 ℃

在不同溫度下執(zhí)行的DSC測(cè)量結(jié)果如圖5所示。結(jié)果表明，較高測(cè)量溫度會(huì)增大熱流，并提高聚合反應(yīng)速率。

圖5：4種不同測(cè)量溫度下的干膜DSC曲線 照射強(qiáng)度：5mW/cm² 照射波長(zhǎng)：365nm

規(guī)格

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