FT160專為微焦斑和超薄鍍層分析而設(shè)計，針對最小部件的測量優(yōu)化了光學系統(tǒng)和探測器技術(shù)。

使用FT160可實現(xiàn)更多操作：

高強度X射線——儀器的核心是一個具有30μm光束的新型毛細管光學系統(tǒng)，非常適合微小的半導(dǎo)體圖案和超小組件。

高靈敏度的SDD探測器——這款高性能設(shè)備使計數(shù)速率翻倍，從而提高生產(chǎn)率。

高清相機——觀察相機的分辨率高，其具有16倍數(shù)字變焦功能，更容易觀察半導(dǎo)體和PCB表面并易于導(dǎo)航。

智能控制器軟件——可對FT160進行依照形狀和圖案自動查找測量位置的編程，以提高測量吞吐量和準確性。

應(yīng)用