膜厚儀FR-Mic是一款快 速、準(zhǔn)確測(cè)量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案，要求的光斑尺寸小到幾個(gè)微米，如微圖案表面，粗糙表面及許多其他表面。它可以配備一臺(tái)計(jì)算機(jī)控 制的XY工作臺(tái)，使其快 速、方便和準(zhǔn)確地描繪樣品的厚度和光學(xué)特性圖。品牌屬于Thetametrisis。

Thetametrisis利用 FR-Mic，通過(guò)紫外/ 可見/ 近紅外可輕易對(duì)局部區(qū)域薄膜厚度，厚度映射，光學(xué)常數(shù)，反射率，折射率及消光系數(shù)進(jìn)行測(cè)量。

【相關(guān)應(yīng)用】

1.高校 & 研究所實(shí)驗(yàn)室

2.半導(dǎo)體制造

3.(氧化物/氮化物， 硅膜, 光刻膠及其他半導(dǎo)體薄膜.)

4.MEMS 器件 (光刻膠, 硅膜等.)

5.LEDs, VCSELs

6.數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

7.陽(yáng)極處理

8.曲面基底的硬鍍及軟鍍

9.聚合物膜層, 粘合劑

10.生物醫(yī)學(xué)(聚對(duì)二甲苯, 生 物膜/氣泡壁厚度.)

11.還有許多…

【Thetametrisis膜厚儀特點(diǎn)】

1、實(shí)時(shí)光譜測(cè)量

2、薄膜厚度，光學(xué)特性，非均勻性測(cè)量， 厚度映射

3、使用集成的，USB連接高品質(zhì)彩色攝像機(jī)進(jìn)行成像

【Thetametrisis膜厚儀產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)】

1、單擊即可分析 (無(wú)需初始預(yù)測(cè))

2、動(dòng)態(tài)測(cè)量

3、包含光學(xué)參數(shù) (n & k, color)

4、可保存測(cè)量演示視頻錄像

5、超過(guò) 600 種不同材料o 多個(gè)離線分析配套裝置o 免費(fèi)操作軟件升級(jí)

【技術(shù)參數(shù)】

*測(cè)量面積(收集反射或透射信號(hào)的面積)與顯微鏡物鏡和 FR-uProbe 的孔徑大小有關(guān)。

【工作原理】

*規(guī)格如有更改，恕不另行通知, 測(cè)量結(jié)果與校準(zhǔn)的光譜橢偏儀和 XRD 相比較, 連續(xù) 15 天測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)方差平均值。樣品：1um SiO2 on Si., 100 次厚度測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)方差，樣品：1um SiO2 on Si.

*超過(guò) 15 天的標(biāo)準(zhǔn)偏差日平均值樣品：1um SiO2 on Si。

以上資料來(lái)自Thetametrisis，如果有需要更加詳細(xì)的信息，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取。