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特征：
可檢查鉻膜、半色調膜、光阻膜
白缺陷、黑缺陷的自動判別
不僅是表面缺陷，內部缺陷和背面缺陷也同時檢查。
有助于缺陷分析的4種Review圖像。
“AI Classify"進行缺陷分類、好壞判定。
免維護。
世界FIRST使用反射散射光、透射散射光、共聚焦光的混合檢查裝置。
能檢出至今為止檢查不出的缺陷。
檢出缺陷：顆粒、劃痕、凹坑、氣泡。
規(guī)格：
檢查激光：405nm 200mW LaserDiode
檢查時間：180sec
檢查對象：6英寸 Photomask blanks
設備尺寸：WxDxH＝450x500x730mm
使用電源：AC100V~200V 10A
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