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鍍金X射線膜厚檢測(cè)法

閱讀:1420        發(fā)布時(shí)間:2017-6-6

韓國(guó)XRF2000X射線鍍層測(cè)厚儀
檢測(cè)電子電鍍,化學(xué)鍍層厚度,如鍍金,鍍鎳,鍍銅,鍍鉻,鎳鋅,鍍銀,鍍鈀...
可測(cè)單層,雙層,多層,合金鍍層,
測(cè)量范圍:0.04-35um
測(cè)量精度:±5%,測(cè)量時(shí)間只需30秒便可準(zhǔn)確知道鍍層厚度
全自動(dòng)臺(tái)面,操作非常方便簡(jiǎn)單

韓國(guó)XRF2000X射線鍍層測(cè)厚儀鍍層厚度的測(cè)量方法

鍍層厚度的測(cè)量方法可分為標(biāo)準(zhǔn)曲線法和FP法(理論演算方法2種。

標(biāo)準(zhǔn)曲線法是測(cè)量已知厚度或組成的標(biāo)準(zhǔn)樣品,根據(jù)熒光X射線的能量和強(qiáng)度及相應(yīng)鍍層厚度的對(duì)應(yīng)關(guān)系,來(lái)得到標(biāo)準(zhǔn)曲線。 之后以此標(biāo)準(zhǔn)曲線來(lái)測(cè)量未知樣品,以得到鍍層厚度或組成比率。

FP法即是Fundamental Parameter Method的簡(jiǎn)稱,即基本參數(shù)法

 

                                                                

韓國(guó)XRF2000X射線鍍層測(cè)厚儀

  • 標(biāo)準(zhǔn)曲線法                                                 

如圖所示,經(jīng)X射線照射后,鍍層和底材都會(huì)各自產(chǎn)生熒光X射線,我們必須對(duì)這兩種熒光X射線能夠辨別,方能進(jìn)行鍍層厚度的測(cè)量。也就是說(shuō),鍍層和底材所含有的元素必需是不*相同的。這是測(cè)量鍍層厚度的先決條件。

對(duì)某種金屬鍍層樣品進(jìn)行測(cè)量時(shí),基于鍍層厚度、狀態(tài)的不同,所產(chǎn)生的熒光X射線的強(qiáng)度也不一樣。

鍍層厚度測(cè)量時(shí),可采用兩種不同方法,一種是注重鍍層中的元素所產(chǎn)生的熒光X射線強(qiáng)度,稱為激發(fā)法。另一種是注重底材中的元素所產(chǎn)生的熒光X射線強(qiáng)度,稱為吸收法。這兩種方法的應(yīng)用必需根據(jù)鍍層和底材的不同組合來(lái)區(qū)分使用。

鍍層厚度測(cè)量時(shí),測(cè)量已知厚度的標(biāo)準(zhǔn)樣品而得到其厚度及產(chǎn)生的熒光X射線強(qiáng)度之間的關(guān)系,并做出標(biāo)準(zhǔn)曲線。然后再測(cè)量未知樣品的熒光X射線強(qiáng)度,得到其鍍層厚度。但是需注意的是,熒光X射線法是從得到的熒光X射線的強(qiáng)度來(lái)求得單位面積的元素附著量,再除以元素的密度來(lái)算出其厚度。所以,對(duì)于含有雜質(zhì)或多孔質(zhì)蒸鍍層等與純物質(zhì)不同密度的樣品,需要進(jìn)行修正。

 

  • 韓國(guó)XRF2000X射線鍍層測(cè)厚儀薄膜FP

        采用薄膜FP法,只需要比標(biāo)準(zhǔn)曲線法更少的標(biāo)準(zhǔn)樣品,就能簡(jiǎn)單迅速地得到定量的結(jié)果。

        如果樣品均勻,所使用分析線的強(qiáng)度就可用樣品的成分和基本參數(shù)的函數(shù)來(lái)表示。換句話說(shuō),從任意組成的樣品所產(chǎn)生的分析線強(qiáng)度,都可以從這基本參數(shù)來(lái)計(jì)算出,所以我們稱這種方法為基本參數(shù)法。

如果熒光X射線產(chǎn)生的深度當(dāng)做限大來(lái)考慮,這方法就適用于塊體樣品;如果將熒光X射線產(chǎn)生的深度當(dāng)做非常小的值(臨界厚度以下)來(lái)考慮,這方法就可以適用于薄膜樣品。

如上所述,FP法的zui大特征是可對(duì)塊體樣品進(jìn)行成分分析到薄膜樣品的成分與厚度同時(shí)進(jìn)行分析與測(cè)量。

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