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韓國(guó)膜厚儀

閱讀:974        發(fā)布時(shí)間:2017-6-13

韓國(guó)膜厚儀Micro Pioneer XRF-2000系列熒光X射線金屬鍍層測(cè)厚儀可用于測(cè)量一般工件、PCB及五金、半導(dǎo)體等產(chǎn)品的各種金屬鍍層的厚度。只需要10-30秒即可獲得測(cè)量結(jié)果, zui小測(cè)量面積為直徑為0.1mm的圓面積; 測(cè)量范圍:0-35um;

韓國(guó)膜厚儀其特點(diǎn)為:激光自動(dòng)對(duì)焦、全自動(dòng)XYZ樣片臺(tái)、簡(jiǎn)易自動(dòng)對(duì)位、具溫度補(bǔ)償功能、十字線自動(dòng)調(diào)整、可自行設(shè)計(jì)報(bào)告格式、多鍍層及電鍍液分析、具有競(jìng)爭(zhēng)力的價(jià)格、五個(gè)可選準(zhǔn)直器(0.1mm,0.2mm,0.3mm,0.4mm,0.05X0.3mm)。是非破壞性測(cè)厚儀器的機(jī)型。測(cè)量精度:誤差控制在±5%.

韓國(guó)膜厚儀

 

儀器系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

  • 測(cè)量部分的結(jié)構(gòu)

用于照射(激發(fā))的X射線是采用由上往下照射方式,用準(zhǔn)直器來(lái)確定X射線的光束大小。

樣品的觀察是利用與照射用的X射線同軸的CCD攝像機(jī)所攝制的圖像來(lái)確定想要測(cè)量的樣品位置。標(biāo)準(zhǔn)配備了多種尺寸的準(zhǔn)直器可根據(jù)需要調(diào)整照射X射線的光束大小來(lái)決定測(cè)量面積,zui小可測(cè)量面積是40umф。

  • X射線操作部分(X-ray station

ExcelWord是標(biāo)準(zhǔn)配置,利用這些軟件,我們可以簡(jiǎn)單快速地進(jìn)行測(cè)量數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)處理及測(cè)量結(jié)果報(bào)告書的編輯和打印。

 

 

儀器規(guī)格及參數(shù)

 

 

X射線管

油冷式超微細(xì)對(duì)焦點(diǎn)X射線管

靶材:鎢(W)、鋁(AL)、鉬(MO

管電壓:0~50kv

管電流:0.1mA

照射方式

由上往下垂直照射方式

檢測(cè)器

正比例計(jì)數(shù)管(PC

儀器校正

密度校正,標(biāo)準(zhǔn)樣品校正

檢測(cè)濾片

Co片,Ni片可選

 

準(zhǔn)直器

固定型或自動(dòng)型

固定型:可選0.1,0.2,0.3,0.4,0.05x0.3mm

自動(dòng)型:0.1,0.20.3,0.4,0.05x0.3mm

輸入電壓

AC220V

溫度控制

前置放大及主機(jī)溫度控制

工作溫度

室溫(22~25℃)

真空樣品室

排氣所需時(shí)間

沒(méi)有

可測(cè)量元素范圍

鈦(Ti)—鈾(U

可測(cè)量厚度范圍

原子序:22-25,0.1-0.8um 26-40,0.05-35um 43-52,0.05-100um 72-82,0.05-5um

測(cè)量時(shí)間

10~30s

操作接口

Windows XP

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