目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光學(xué)精密儀器>>等離子物理>> 高精度光刻曝光機(jī)
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),石油 |
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高精度光刻曝光機(jī)是掩模對準(zhǔn)曝光機(jī),Mask aligner，是光掩膜板和硅片對準(zhǔn)的紫外曝光機(jī)。它支持高精度掩模運(yùn)動，具有光刻機(jī)精密光學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng)，高精度光刻曝光機(jī)是光刻應(yīng)用中非接觸的性產(chǎn)品。
高精度光刻曝光機(jī)特點(diǎn)
光刻曝光機(jī)可用于直徑達(dá)6英寸的晶圓片。
“用于多產(chǎn)品生產(chǎn)領(lǐng)域的研究和發(fā)展"。
“前沿技術(shù)"。
采用*非接觸式掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)。
掩模對準(zhǔn)時不會損壞掩膜和晶圓。
間隙精度顯著提高。
電腦監(jiān)控采用交互式操作。
根據(jù)“輔助線"可以進(jìn)行高精度定位。
掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)SMA-600M是用于研發(fā)和多種產(chǎn)品生產(chǎn)領(lǐng)域的手動紫外曝光機(jī)，采用了清晰的光學(xué)系統(tǒng)和*非接觸式校準(zhǔn)裝置。通過接觸或靠近模式，晶圓曝光可達(dá)150mm。該紫外曝光機(jī)系統(tǒng)對于各種電子設(shè)備，例如化合物半導(dǎo)體的LD，LED，和微型機(jī)械的制造過程，包括壓力傳感器等來說，是曝光過程的。
經(jīng)濟(jì)型，緊湊型和高級別性能的光刻機(jī)
視圖中聚焦圖像可看到兩個校準(zhǔn)標(biāo)記。
曝光用集成鏡頭。
LED照明燈
高精度光刻曝光機(jī)應(yīng)用
（研發(fā)中心和大學(xué)的微機(jī)械發(fā)展）
驅(qū)動器，壓力傳感器，加速度傳感器，電力設(shè)備等。
用于倒裝芯片/ BGA/ CSP的曝光。
用于光學(xué)/高速通信組件的曝光。
高精度光刻曝光機(jī)規(guī)格
| Alignment Scope | |
| 目標(biāo)分離 | 15 ~ 75mm |
| 總放大倍數(shù) | 100X |
| 觀察用的照明燈 | 紅色 LED (l=633 nm) |
| 工作臺的X，Y軸的移動范圍 | ±5 mm |
| 調(diào)整 | ±5° |
| Utility | |
| 主機(jī)和汞燈的電源 | AC 100V 50/60Hz 15A |
| 真空源 | 低于 21.3 Kpa (從大氣壓到-80 Kpa ) |
| Exposure Unit | |
| 鏡頭 | 集成鏡頭 |
| 汞燈 | 250W 超高壓蒸汽汞燈 |
| 有效曝光區(qū)域 | zui大 100 mm |
| 強(qiáng)度分布 | ±5% 或更少 |
| 照明強(qiáng)度 | 20 mW/cm2 (405 nm) |
| 曝光時間控制 | 數(shù)字定時器和旋轉(zhuǎn)電磁閥 |
| 汞燈照明單元 | AC 110V |
| MPEM-16M （適用于直徑達(dá)4英寸的晶圓） | MPEM-12M （適用于直徑達(dá)6英寸的晶圓） | MPEM-1600 （適用于直徑達(dá)8英寸的晶圓） |
MPEM系列是高精度雙視野紫外曝光機(jī)，包括在頂部的對準(zhǔn)光學(xué)系統(tǒng)和在底部的晶圓，因此裝頂部表面可進(jìn)行接觸、軟接觸和接近圖案，在底部晶圓可校準(zhǔn)圖案。高分辨率光學(xué)系統(tǒng)，在頂側(cè)和底側(cè)安裝了對稱的10X物鏡，因此可精確對準(zhǔn)以掩模和晶圓。成對的物鏡之間的間隔距離可以調(diào)節(jié)，所以可以自由地對準(zhǔn)不規(guī)則形的晶圓。
* 除了上述這些，還有機(jī)動型MPEM-2000/4000和全自動型MPEM-8M/12M 。
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