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多自由度微操縱定位平臺(tái)采用納米旋轉(zhuǎn)臺(tái)和納米定位平臺(tái)搭建成的精密復(fù)雜定位系統(tǒng),非常適合納米操縱,納米操作,微納操縱研究應(yīng)用。
9自由度微操縱系統(tǒng)
9自由度微操縱系統(tǒng)是9軸微操縱系統(tǒng)和9維微納操縱系統(tǒng),采用7個(gè)SLC納米線性定位器,1個(gè)SR2013納米旋轉(zhuǎn)臺(tái)和1個(gè)SG1730納米微夾鉗搭建組成,都配備納米傳感器,非常適合搭建微尺度玻璃球螺旋結(jié)構(gòu)等復(fù)雜艱難任務(wù)。9自由度微操縱系統(tǒng)全自動(dòng)化操作,具有定位臺(tái)反饋機(jī)制。


歐拉角定位臺(tái)系統(tǒng)
這款歐拉角定位臺(tái)系統(tǒng)是非磁性鈦金屬2D歐拉角位臺(tái)系統(tǒng),專業(yè)為UHV定位設(shè)計(jì)。

光纖準(zhǔn)直系統(tǒng)
這套光纖準(zhǔn)直系統(tǒng)采用3D和1D納米位移臺(tái)搭建,光纖夾具連接到3D定位臺(tái)上,波導(dǎo)測(cè)量系統(tǒng)可安裝到1D定位臺(tái)上,結(jié)合恒力彈簧,3D定位臺(tái)可負(fù)載400g樣品。
這套光纖準(zhǔn)直系統(tǒng)都配備了納米傳感器,分辨率高達(dá)1nm,定位重復(fù)精度大約45nm，速度可達(dá)20mm/s.


5軸微操作位移臺(tái)
5軸微操作位移臺(tái)是5自由度定位臺(tái)系統(tǒng),可提供XYZ三維位移定位和2個(gè)角位臺(tái)旋轉(zhuǎn)定位,Z軸特別使用了恒力彈簧,有效增加持久性負(fù)載能力。
5軸微操作位移臺(tái)可用于高真空或超高真空環(huán)境。


8自由度定位臺(tái)由2個(gè)三維位移臺(tái)h和旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)組成,可以配備微zhua鉗用于精密定位。