目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光學(xué)精密機械類>>精密位移臺>> FPSMAR-P-SLC-17六自由度并聯(lián)機器人
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,電子/電池,航空航天 |
六自由度并聯(lián)機器人P-SLC-17采用德國hexapod六軸并聯(lián)動力學(xué)機器人技術(shù),提供六自由度并聯(lián)平移臺功能,具有更緊湊結(jié)構(gòu),更高剛性,更低的運動質(zhì)量和更高的響應(yīng)速度。
六自由度并聯(lián)機器人P-SLC-17采用模塊化設(shè)計,其尺寸和強度可以適應(yīng)不斷變化的要求,從幾厘米到幾乎一米的行程都可提供,并具有納米分辨率。
六自由度并聯(lián)機器人P-SLC-17規(guī)格參數(shù)分辨率<1nm
大負載：500g (5N)
大真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造（根據(jù)用戶要求）
大垂直載荷Fv:5N
大水平力Fh:2.5N
定位器尺寸:> 110 x 80 x 67 mm3
重量:≈ 200 ~1000 g
行程范圍：
x- 48 mm
y -28~48mm
z -≤ 9 mm
Θx：≤ 28 °
Θy：≤ 26°
Θz：≤ 20 °
帶納米傳感器-S閉環(huán)
小增量（x，y，z）：1nm
小增量（Θx,Θy,Θz）：1urad
重復(fù)精度(xyz全行程）：±200 nm
重復(fù)精度(Θxyz全行程）：±10urad
重復(fù)精度（1mm行程@xyz)：±15 nm
材料和真空可選項目
納米級距離編碼傳感器
非磁性材料（NM）
-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
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