微波探測光致電流瞬態(tài)譜儀采用微波技術(shù)探測材料的光生電流瞬態(tài)光譜值,非常適合溫度依賴的少子壽命測量和半導(dǎo)體界面陷阱。
微波探測光致電流瞬態(tài)譜儀特點(diǎn)靈敏度:對半導(dǎo)體材料電學(xué)缺陷有最高靈敏度
溫度范圍:液氮(77k)至500k??蛇x:液氦(4k)或更高溫度
衰減常數(shù)范圍:20納秒到幾毫秒
沾污檢測:電學(xué)陷阱基本性能確定:激活能和陷阱的俘獲截面,受溫度和注入水平影響的少子壽命參數(shù)等
重復(fù)性精度:> 99.5%,測量時(shí)間:< 60分鐘。液氮消耗:2升/次
靈活性:從365 nm 到1480nm,根據(jù)不同材料選擇不同波長激發(fā)光源
可訪問性:基于IP的系統(tǒng)允許來自世界任何地方的遠(yuǎn)程操作和技術(shù)支持
