目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光學(xué)精密儀器>> FPULT-PRD405光刻膠顯影機(jī),光刻jiao工作站
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,電氣,綜合 |
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光刻膠顯影機(jī)PRD405/408/409是自動批量顯影和沖洗晶片和光掩模上正性光刻膠工作站。光刻膠顯影機(jī)利用一個處理槽進(jìn)行顯影和沖洗，以快速有效地處理晶片?？焖偬畛浜团趴诊@影劑水和直接注入水可精確控制循環(huán)時間。顯影劑被連續(xù)過濾并自動補(bǔ)充，溫度被精確保持，以實(shí)現(xiàn)可靠和可重復(fù)的過程。
光刻膠顯影機(jī)PRD405是理想的自動批量顯影和晶片和光掩模上的正抗蝕劑沖洗的解決方案,?？焖偬畛浜团趴諆烧唢@影劑和去離子水提供精確控制循環(huán)時間。連續(xù)過濾顯影劑并自動補(bǔ)充，溫度降低準(zhǔn)確維護(hù)，確?？煽啃院涂芍貜?fù)性過程.
光刻膠顯影機(jī)特點(diǎn)
最大適合6英寸晶片
高容量顯影劑填充，快速再現(xiàn)
晶片的厚度和設(shè)計可最大限度地減少發(fā)泡
溫度范圍為50~100F,分辨率為±0.3F
可調(diào)機(jī)械攪拌，均勻攪拌顯影
用于快速排空的大型快速排放閥顯影機(jī)周期結(jié)束時
六個DI水噴嘴，快速有效顯影周期終止
快速填充和傾倒直流水，實(shí)現(xiàn)快速循環(huán)
使用儲液罐顯影劑噴涂組件
從工藝罐和容器中排除水
顯影劑正態(tài)性的維持
顯影劑儲層的氮屏障
自動補(bǔ)充，用于維護(hù)
? 0.45μm顯影劑過濾
? 可編程微處理器控制
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