目錄:孚光精儀（中國(guó)）有限公司>>光學(xué)精密儀器>>等離子物理>> FPPIE-Tergeo等離子體清潔器蝕刻機(jī)
| 參考價(jià) | 面議 |
| 參考價(jià) | 面議 |
更新時(shí)間：2024-04-23 14:05:56瀏覽次數(shù)：328評(píng)價(jià)
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,綜合 |
|---|
等離子體清潔器蝕刻機(jī)用于等離子體蝕刻、表面清潔和活化的實(shí)驗(yàn)室等離子體清洗蝕刻系統(tǒng)。
等離子體清潔器蝕刻機(jī)產(chǎn)生氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣、CF4、SF6、環(huán)境空氣或其他混合氣體等離子體來(lái)灰化光刻膠，圖案化后除渣，蝕刻二氧化硅和氮化物，去除碳?xì)浠衔锖推渌砻嫖廴疚铮淖儽砻婺?，提高結(jié)合強(qiáng)度。等離子體清潔器蝕刻機(jī)Tergeo系列等離子體系統(tǒng)是一種需要在低壓下運(yùn)行的真空等離子體系統(tǒng)。腔室直徑分別為110mm、160mm和230mm。該室的深度為280毫米或340毫米。
等離子體清潔器蝕刻機(jī)應(yīng)用
引線(xiàn)接合、芯片連接、倒裝芯片接合工藝之前的清潔。
用于去除碳?xì)浠衔镂廴镜腟EM/TEM樣品清洗
生物醫(yī)學(xué)涂層前的表面處理及提高醫(yī)用植入物親水性
環(huán)氧樹(shù)脂粘合前的光學(xué)、玻璃和基板清潔
光刻膠灰化、descum和硅片清洗
PDMS、微流體、載玻片和芯片實(shí)驗(yàn)室
改善金屬與金屬或復(fù)合材料的結(jié)合
改善塑料、聚合物和復(fù)合材料的粘合
醫(yī)療器械活化、滅菌并提高涂層附著力
等離子體清潔器蝕刻機(jī)特點(diǎn)
采用外部電極設(shè)計(jì)，等離子體均勻性*hao
用于定量等離子體強(qiáng)度測(cè)量的du特等離子體傳感器技術(shù)
一個(gè)系統(tǒng)中的直接/浸沒(méi)模式和遠(yuǎn)程/下游等離子體處理模式
連續(xù)和脈沖等離子體可以將清潔速度改變3-4個(gè)數(shù)量級(jí)。
高頻13.56MHz射頻電源，具有自動(dòng)阻抗匹配功能。在相同的射頻額定功率下，MHz等離子體系統(tǒng)的效率是KHz等離子體系統(tǒng)的許多倍。
xianjin的過(guò)程控制技術(shù)
質(zhì)量流量控制器（MFC）調(diào)節(jié)氣體輸入，而不是手動(dòng)轉(zhuǎn)子流量計(jì)或粗針閥
xianjin的數(shù)字壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)精確的壓力監(jiān)測(cè)
全自動(dòng)操作，支持20種配方
直觀的電阻式觸摸屏用戶(hù)界面
外部射頻電極和石英室可以消除帶有內(nèi)部金屬電極的等離子體系統(tǒng)上的金屬污染問(wèn)題
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
會(huì)員.png)
9
化工儀器網(wǎng)