產(chǎn)品關(guān)鍵詞：單晶硅片測(cè)厚儀、單晶硅片厚度檢測(cè)儀器、單晶硅片厚度測(cè)量?jī)x器、單晶硅片厚度測(cè)試儀
Labthink蘭光的CHY-CA改款型測(cè)厚儀，可用于單晶硅片厚度的檢測(cè)，測(cè)試分辯率高達(dá)0.1微米，*單晶硅片對(duì)厚度高精度測(cè)試的要求；同時(shí)測(cè)試幅面寬度可以達(dá)到400mm，*單晶硅片整個(gè)幅面厚度測(cè)試的要求。CHY-CA改款型測(cè)厚儀除了具備高精度、率等特點(diǎn)外，還采用測(cè)量樣品自動(dòng)前進(jìn)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，大大提高了測(cè)試效率，充分滿足用戶連續(xù)測(cè)試的要求，并配有專業(yè)軟件支持，操作方便、人機(jī)交互友好。
1、結(jié)構(gòu)組成
CHY-CA改款型測(cè)厚儀主要由控制系統(tǒng)、測(cè)量系統(tǒng)、打印輸出系統(tǒng)三部分組成。測(cè)量系統(tǒng)對(duì)薄膜進(jìn)行測(cè)量，并輸出相應(yīng)電信號(hào)；控制系統(tǒng)用以參數(shù)的設(shè)定、修改、傳輸信號(hào)的處理、測(cè)量結(jié)果的顯示等；打印輸出系統(tǒng)的功能是統(tǒng)計(jì)結(jié)果的輸出，打印試驗(yàn)結(jié)果。
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