優(yōu)勢
1，3 + 1 個傳感元件，測量范圍極廣，降低成本，節(jié)省空間
2，雙燈絲設計
3，獨立于氣體類型的壓力測量（10 托以上）為任何混合氣體提供更可靠的負載鎖定控制
4，壓差測量消除了與大氣壓力變化有關(guān)的不確定性
5，自動高真空皮拉尼調(diào)節(jié)減少了操作員的干預
6，電隔離電子元件可避免雜散電流
7，滑動排放模式，避免在切換排放流時出現(xiàn)壓力跳躍和凍結(jié)現(xiàn)象
8，設定點繼電器
9，明亮大屏幕 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉(zhuǎn)），帶用戶界面
10，模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
11，可與 VGC50x 控制器系列配合使用
12，向后兼容 TripleGauge® BCG450

13，符合 RoHS 規(guī)范

典型應用
半導體制程、傳輸和負載鎖定室中的壓力測量
工業(yè)鍍膜

低真空至超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測量和控制

測量范圍 (氣, O2, CO, N2) 5 × 10-10 … 1500 mbar    
準確度  950 ... 1050 mbar ±2.5% 讀數(shù)  
           50 ... 950 mbar ±5% 讀數(shù)  
           1 × 10-8 … 50 mbar ±15% 讀數(shù)    
           可重復性 5% 讀數(shù), 1 × 10-8 … 1050 mbar (穩(wěn)定 10 分鐘后）  
暴露在真空中的材料 不銹鋼、鎳鐵合金、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、鎳、鎢

BCG552 ATM至超高真空真空計