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供應(yīng)PlasCalc-2000&ProCess-2000-等離子體監(jiān)測(cè)和過(guò)程控制
- 發(fā)布日期：
- 有效日期：
- 所 在 地：
- 產(chǎn) 地：
- 已獲點(diǎn)擊：
- 2024年11月23日
- 2025年5月23日
- 國(guó)外
- 美國(guó)
- 249次
【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】
【詳細(xì)說(shuō)明】
描述
PlasCalc-2000配有2048像元CCD高分辨率的光譜儀，等離子體光輻射測(cè)量范圍為200-1100nm，PlasCalc-2000進(jìn)程控制系統(tǒng)精確可靠，其精密的數(shù)據(jù)采集和控制算法格外具有優(yōu)勢(shì)，對(duì)PC的模擬和數(shù)字輸入輸出功能也簡(jiǎn)化了進(jìn)程控制過(guò)程。PlasCalc-2000及其軟件系統(tǒng)在數(shù)據(jù)采集和信號(hào)處理上非常方便，波長(zhǎng)、測(cè)量模式編輯器可以迅速產(chǎn)生有效的測(cè)量模式及各種測(cè)量模式的組合，適合于控制系統(tǒng)。
PlasCalc-2000參數(shù)
200-1100nm光譜的范圍
1.0nm全高半寬分辨率
14位I/O D/A轉(zhuǎn)換
8個(gè)TTL數(shù)字I/O端口
4個(gè)0-10V模擬輸出端口
USB1.1接口
ProCess-2000參數(shù)
多達(dá)6通道的寬帶光譜數(shù)據(jù)采集
每個(gè)通道都可以獨(dú)立配置光譜范圍
小于0.3nm的光學(xué)分辨率
16個(gè)TTL數(shù)字I/O端口
8個(gè)1-10V模擬輸出端口
USB2.0接口
應(yīng)用
通用過(guò)程監(jiān)控
表面清潔過(guò)程
保護(hù)膜
等離子體刻蝕
等離子室設(shè)備健康水平監(jiān)控
非常規(guī)過(guò)程處理
多晶硅平整化處理
新的加工過(guò)程優(yōu)化和監(jiān)控