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使用全電動(dòng)顯微鏡系統(tǒng)有哪些好處?

來源:北京元中銳科集成檢測(cè)技術(shù)有限公司   2017年06月07日 09:54  

使用全電動(dòng)顯微鏡系統(tǒng)有哪些好處呢?這個(gè)問題很好,只有弄清楚電動(dòng)顯微鏡的一些特點(diǎn)才能全面回答這個(gè)問題。 

首先我們來看一下總體優(yōu)勢(shì)。當(dāng)所有組件實(shí)現(xiàn)全面電動(dòng)操作之后,就可通過圖像軟件實(shí)現(xiàn)無縫校準(zhǔn)。您的軟件將會(huì)校準(zhǔn)對(duì)焦點(diǎn)或者物鏡之間的偏移,允許在更改倍率時(shí)讓圖像保持對(duì)焦?fàn)顟B(tài)。軟件還可校準(zhǔn)物鏡之間的任何XY偏移。在更換物鏡時(shí)該功能可以將視場(chǎng)中心的興趣點(diǎn)保持在中心位置。軟件將對(duì)XY位置進(jìn)行物理移動(dòng)。圖像軟件還可根據(jù)成像方法和/或所選物鏡不同設(shè)定*性能值。

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在通過軟件進(jìn)行系統(tǒng)配置的情況下,很多成像操作實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)化,用戶界面得到簡(jiǎn)化,且對(duì)操作員的技能要求降低,全電動(dòng)顯微鏡還可使生產(chǎn)力獲得全面提高。另外全電動(dòng)顯微鏡還提高了不同操作水平操作員之間圖像和測(cè)量的可重復(fù)性。軟件的用戶訪問權(quán)限還可設(shè)定為需要工程級(jí)用戶界面的操作者可獲得和使用這些功能,而基本用戶則使用簡(jiǎn)化的用戶界面。  

全電動(dòng)系統(tǒng)的其他功能和優(yōu)點(diǎn)還包括顯微鏡控制與通信功能的提高,包括觀察方法(BF、DF、DIC)、物鏡選擇、照明條件、以及孔徑控制等顯微鏡功能的控制都得到了提高。通過軟件或手動(dòng)開關(guān)實(shí)現(xiàn)的這一控制功能的提高,可以為操作員帶來很多好處,其中包括: 

1、由于在采集圖像時(shí)軟件將會(huì)反饋正在使用的是哪個(gè)物鏡,所以校準(zhǔn)獲得保證。

2、通過在軟件中選擇觀察方法可簡(jiǎn)化顯微鏡配置操作。該功能可將所有顯微鏡功能根據(jù)預(yù)設(shè)觀察條件自動(dòng)設(shè)定。例如:暗場(chǎng)(DF)條件將會(huì)設(shè)定分光鏡塔臺(tái)為暗場(chǎng)分光鏡,將光源亮度調(diào)到zui大,將光闌打開到zui大,更換為暗視場(chǎng)物鏡,并且甚至可以設(shè)定焦點(diǎn)。

3、可通過圖像軟件(如奧林巴斯Stream™)從所采集的圖像中讀取和加載顯微鏡參數(shù)。該功能可以讓您將系統(tǒng)設(shè)定成與采集圖像時(shí)*相同的配置參數(shù)。 

4、由于操作者不用再伸長手進(jìn)行倍率或成像方法的更改,人體工學(xué)獲得改善。

5、由于操作者不再需要在樣品上方進(jìn)行物鏡或觀察方法的更換,樣品清潔度獲得改善。 

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全電動(dòng)顯微鏡的可能配置如下: 

全電動(dòng)顯微鏡鏡架。

  • 電動(dòng)XY載物臺(tái)(如,Prior, LUDL, Marzhauser等品牌)。

  • 電動(dòng)Z軸(對(duì)焦)。

  • 電動(dòng)附加調(diào)焦控制(如未包含在顯微鏡鏡架內(nèi))。

  • 載物臺(tái)控制器(或?yàn)橥庵每刂葡浠驗(yàn)閮?nèi)置PC卡)。

  • XY控制以及可能的調(diào)焦控制所使用的操縱桿。

  • 用于自動(dòng)圖像采集的數(shù)字相機(jī)。

  • 控制軟件。 

 

電動(dòng)XY載物臺(tái)可為用戶帶來以下好處:

  • 可實(shí)現(xiàn)多圖像拼接(MIA)。可通過拼接實(shí)現(xiàn)超出視場(chǎng)范圍的大尺寸圖像采集

  • 能夠設(shè)定并保存位置點(diǎn)以便返回檢查。該功能在晶圓、半導(dǎo)體芯片或電路的檢查時(shí)使用很多。

  • 由于使用者可利用操縱桿移動(dòng)到任何位置或者通過軟件控制載物臺(tái)的任何運(yùn)動(dòng)及參數(shù)值,電動(dòng)控制的人體工學(xué)效果。您不必再通過用手接觸載物臺(tái)的方法移動(dòng)樣品了。 

 

電動(dòng)Z軸(對(duì)焦)可加強(qiáng)以下操作功能:

  • 能夠進(jìn)行景深擴(kuò)展成像(EFI)??赏ㄟ^采集多個(gè)Z軸對(duì)焦圖像生成一個(gè)全對(duì)焦圖像。非常適合用于深度或高度較大的樣品。

  • 焦點(diǎn)圖。在進(jìn)行XY拼接時(shí),能夠補(bǔ)償樣品的焦點(diǎn)漂移,讓您能夠用軟件保持樣品對(duì)焦的同時(shí)完成較大區(qū)域的圖像拼接。

  • 電動(dòng)對(duì)焦改善了人體工學(xué)效果,讓您無需再用手調(diào)節(jié)對(duì)焦旋鈕。軟件控制或操縱桿都可以完成這項(xiàng)操作。 

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