全自動(dòng)晶圓成像電阻率測(cè)試儀

產(chǎn)品名稱：全自動(dòng)晶圓成像電阻率測(cè)試儀

產(chǎn)品型號(hào)：GEST-201

一、產(chǎn)品概述

本儀器主要通過四探針法測(cè)試單晶硅電阻率，具有自動(dòng)定位的三坐標(biāo)自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)，可以自由設(shè)置測(cè)量點(diǎn)數(shù)量，自動(dòng)測(cè)試完成，可以對(duì)測(cè)試出的數(shù)據(jù)進(jìn)行2D成像，是智能化、集成化很高的晶圓電阻率測(cè)試儀器。

儀器采用了*電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。

本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試

二、儀器構(gòu)成：

本儀器主要組成部分有：

1、 高精度電阻率測(cè)試儀

2、 三坐標(biāo)測(cè)試移動(dòng)平臺(tái)

3、 測(cè)試探頭

4、 上位機(jī)軟件測(cè)量成像系統(tǒng)

高精度電阻率測(cè)量?jī)x：

1、測(cè)量范圍

1.1電阻率：0.00001～20000Ω.cm (可擴(kuò)展)

1.2電導(dǎo)率：0.00005～10000 s/cm；

1.3電阻：0.00001～20000Ω.cm；

2、電壓測(cè)量：

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.2分辨力：10μV；

2.3 精度：±0.1% ；

2.4顯示：觸摸屏操作顯示

3、恒流源：

3.1電流輸出：10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,

3.2電流誤差：±0.5%

3.3各檔連續(xù)可調(diào)

三坐標(biāo)測(cè)試移動(dòng)品臺(tái)：

1、X軸Y軸移動(dòng)行程：120MM

2、X軸Y軸*小位移量：0.125MM

3、R軸*小分度值：0.0125°C

四探針測(cè)試電極：

1、間距：1±0.01mm；
2、針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 
3、機(jī)械游移率：≤0.3％；
4、探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
5、 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

上位機(jī)軟件測(cè)量成像系統(tǒng)

1、 測(cè)量方式：弧度測(cè)量、角度測(cè)量

2、 測(cè)量點(diǎn)數(shù)：可以設(shè)定

3、 測(cè)試數(shù)據(jù)：實(shí)時(shí)同步顯示

4、 2D成像：測(cè)試完成后，可以立體成像

5、 數(shù)據(jù)導(dǎo)出：可以保存測(cè)試數(shù)據(jù)生成電子版本

將會(huì)得出與運(yùn)行經(jīng)驗(yàn)的相對(duì)應(yīng)的判據(jù)。在流動(dòng)的冷水下，用有金剛石層的圓鋸片從正常生產(chǎn)的絕緣子上沿與芯棒軸線成90°的方向切割下10只試品，試品長(zhǎng)度應(yīng)為10mm±0.5mm。切面應(yīng)用細(xì)砂布打光（砂粒大小為180目），兩端的切面應(yīng)是清潔和平行的。試品應(yīng)（纖維垂直）地放入玻璃容器內(nèi)，置于一層直徑相同（1mm?2mm）的鋼球或玻璃球上，將1%的品紅乙醇溶液（1g的品紅放入100g的乙醇中）染料倒入容器中，使其液面應(yīng)比球?qū)拥纳掀矫娓?mm?3mm,染料可因毛細(xì)作用而從芯棒內(nèi)上升，測(cè)量染料上升貫通試品的時(shí)間。染料上升貫通試品所用的時(shí)間應(yīng)長(zhǎng)于15min。在流動(dòng)的冷水下，用有金剛石層的圓鋸片從正常生產(chǎn)的絕緣子上沿與芯棒軸線成90°的方向切割下6只試品。

試品長(zhǎng)度應(yīng)為30mm土0.5mm。切面應(yīng)用細(xì)砂布打光（砂粒大小為180目），兩端的切面應(yīng)是清潔和平行的。試品的表面在煮沸前應(yīng)先用異丙醇清洗并用濾紙擦凈,將試品放入含0.1%重量NaCl的去離子水的玻璃容器內(nèi)煮沸，在同一容器中，只能放入所切割的同一種芯棒材料試品在一起煮沸。沸騰容器示例見圖2。在沸騰時(shí)間到了以后，將試品從玻璃容器中取出，在周圍溫度下置于裝滿自來水的另一玻璃容器中，持續(xù)至少15min。在試品自沸騰容器中取出后3h內(nèi)進(jìn)行按5.4.2.3的電壓試驗(yàn)。電壓試驗(yàn)應(yīng)在圖3和圖4所示的裝置中進(jìn)行。注：對(duì)較大直徑的試品，電極的直徑也應(yīng)加大，電極直徑至少應(yīng)比試品直徑大20mm。T1——調(diào)壓器；T2—變壓器；

四探針法晶圓電阻率測(cè)試儀

四探針法晶圓電阻率測(cè)試儀