當(dāng)前位置:上海旦順實(shí)業(yè)有限公司>>半導(dǎo)體烤箱>>無氧烘箱>> QMO-系列MCM芯片封裝聯(lián)網(wǎng)無氧烘箱 MES充氮潔凈烘箱
MCM芯片封裝聯(lián)網(wǎng)無氧烘箱 MES充氮潔凈烘箱
一、封裝測試無氧烘箱特點(diǎn):
1.含氧量:< 50ppm,30ppm, 20ppm;
2.可對接MES系統(tǒng)
3.可連電腦,實(shí)現(xiàn)同時監(jiān)測與控制多臺設(shè)備
4.歷史數(shù)據(jù)、歷史操作,歷史報(bào)警數(shù)據(jù)查詢,記憶操作步驟,操作便捷!
5.智能化多段可編程控制,真正實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的試驗(yàn)過程自動控制和運(yùn)行
二.封裝測試無氧烘箱技術(shù)參數(shù)
1、無氧化烘箱型號: QMO-系列 QMO-2D-PC
2、無氧化烘箱主要技術(shù)指標(biāo):
2.1含氧量:< 50ppm,30ppm, 20ppm;
2.2溫度范圍:RT(室溫)+60~ 250℃
2.3溫度均勻度:±1.5%
2.4溫度波動度:±0.5℃(空載)
2.5溫控精度:±0.1℃;
2.6烘箱擱板為活動形式
2.7工作尺寸:W1000*D500*H610 mm *2
2.8電源:380V 3φ 50Hz 18KW
3、無氧烘箱箱體結(jié)構(gòu):
3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)部分組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;
3.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機(jī)臺本身產(chǎn)生微塵;
3.3箱體材料:外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;
3.4內(nèi)膽材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE;
3.5中桶材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。
3.6 保溫材料:硅酸鋁棉;
4、無氧烘箱溫控系統(tǒng)
4.1采用智能控制系統(tǒng)PLC+PC界面
程式編輯:可預(yù)編120個程式,每個程式最大可編99段,共1200段
歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導(dǎo)出)
可對接MES系統(tǒng)
4.2溫度測量:采用特制鍇裝鉑電阻;
MCM芯片封裝聯(lián)網(wǎng)無氧烘箱 MES充氮潔凈烘箱