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乙硅烷中甲硅烷、丙硅烷分析

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更新時(shí)間:2020-09-23 14:03:06瀏覽次數(shù):749

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乙硅烷中甲硅烷、丙硅烷分析

詳細(xì)介紹

乙硅烷中甲硅烷、丙硅烷分析

 

色譜條件
色譜柱GC-MS  30m*0.32mm*10um
柱溫度初始溫度80℃   保持0min   速率 10℃/min   升至200℃
進(jìn)樣器250℃
檢測(cè)器250℃
其它條件中間關(guān)燈絲避過了乙硅烷
色譜柱貨號(hào)ZGW1-3310

 

 

 硅烷即硅與氫的化合物,是一系列化合物的總稱,包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高級(jí)的硅氫化合物。應(yīng)用多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡(jiǎn)稱做硅烷。

 

硅烷作為一種提供硅組分的氣體源,可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實(shí)現(xiàn)精細(xì)控制,已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè), 用于制造太陽(yáng)電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層, 并且是迄今世界上大規(guī)模生產(chǎn)粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。硅烷的高科技應(yīng)用還在不斷出現(xiàn), 包括用于制造*陶瓷、復(fù)合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等,成為許多新技術(shù)、新材料、新器件的基礎(chǔ)。硅烷又以它*的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發(fā)著火范圍和*的燃燒能量,決定了它是一種高危險(xiǎn)性的氣體。

 

 

 

 

 

 

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