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MEMS光開關(guān)的工作原理

閱讀：1332 發(fā)布時(shí)間：2021-7-21

Exfo IQS-9100光開關(guān)串?dāng)_為-80 dB，具有一千萬次的使用壽命，是進(jìn)行元件測(cè)試、帶狀光纖測(cè)試、多通道監(jiān)測(cè)、遠(yuǎn)程和多元件測(cè)試、信號(hào)路由和旁路開關(guān)的理想之選。
典型的MEMS光開關(guān)器件可分為二維和三維結(jié)構(gòu)。
二維MEMS的空間旋轉(zhuǎn)鏡通過表面微機(jī)械制造技術(shù)單片集成在硅基底上，準(zhǔn)直光通過微鏡的適當(dāng)旋轉(zhuǎn)被接到適當(dāng)?shù)妮敵龆?。微鉸鏈把微鏡鉸接在硅基底上，微鏡兩邊有兩個(gè)推桿，推桿一端連接微鏡鉸接點(diǎn)，另一端連接可平移梳妝電極。轉(zhuǎn)換狀態(tài)通過調(diào)節(jié)梳妝電極使微鏡發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)微鏡為水平時(shí)，可使光束從該微鏡上面通過，當(dāng)微鏡旋轉(zhuǎn)到與硅基底垂直時(shí)，它將反射入射到它表面的光束，從而使該光束從該微鏡對(duì)應(yīng)的輸出端口輸出。
三維MEMS的鏡面能向任何方向偏轉(zhuǎn)，這些陣列通常是成對(duì)出現(xiàn)，輸入光線到達(dá)第一個(gè)陣列鏡面上被反射到第二個(gè)陣列的鏡面上，然后光線被反射到輸出端口。

基本原理：
MEMS 4&mes;4光開關(guān)是OXC節(jié)點(diǎn)設(shè)備中的核心子系統(tǒng)之一。其在整個(gè)系統(tǒng)中負(fù)責(zé)將4種波長的光按照要求進(jìn)行路由切換，以達(dá)到光交換的目的
MEMS光開關(guān)的優(yōu)點(diǎn)在于光波路由的切換是通過外部控制信息以及相應(yīng)的高低電平控制內(nèi)部16塊微鏡片抬升與否來完成的。我們選用的MEMS光開關(guān)規(guī)定在控制信息的格式上，不管其內(nèi)部有多少個(gè)微鏡片，都需要由一系列“1”和“0”組成的 64位串行數(shù)據(jù)來完成控制。
依據(jù)MEMS光開關(guān)的具體工作原理以及所需數(shù)字信號(hào)間的時(shí)序關(guān)系，所需的64位控制信息、以及其他信號(hào)（如CLK、ENA信號(hào)）可以由高速單片機(jī)來提供。

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MEMS光開關(guān)的工作原理

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