您好, 歡迎來(lái)到化工儀器網(wǎng)
超純水的制備工藝
超純水是把水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎*去除，又把水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。超純水常用于集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等，也作為其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等制作的材料。
依各種原水水質(zhì)和用戶(hù)要求的不同，超純水的制備工藝大體可分為預(yù)處理、脫鹽和精處理三步。
預(yù)處理
包括砂濾、多介質(zhì)過(guò)濾、軟化、加氯、調(diào)節(jié)pH、活性碳過(guò)濾、脫氣等。過(guò)濾可除去 1～20微米大小的顆粒，軟化和調(diào)節(jié)pH可防止反滲透膜結(jié)垢，加氯是殺菌?；钚蕴歼^(guò)濾是除去有機(jī)物和自由氯，脫氣是清除溶于水中的CO2等。
脫鹽
包括電滲析、反滲透、離子交換。電滲析的原理是在外加直流電場(chǎng)作用下利用陽(yáng)離子和陰離子交換膜對(duì)離子選擇性透過(guò)，脫鹽率可達(dá)95%以上。反滲透是滲透現(xiàn)象的逆過(guò)程，在濃溶液上加壓力，使溶劑從濃溶液一側(cè)通過(guò)半透膜向稀溶液一側(cè)反向滲透，脫鹽可達(dá)98%，并能除去99%的細(xì)菌顆粒和溶解在水中的有機(jī)物。離子交換的原理是當(dāng)水通過(guò)陽(yáng)離子交換樹(shù)脂時(shí)，水中的陽(yáng)離子被陽(yáng)離子交換樹(shù)脂吸附，樹(shù)脂上可交換的陽(yáng)離子如H離子被置換到水中，并和水中的陰離子結(jié)合成相應(yīng)的無(wú)機(jī)酸，如這種含有無(wú)機(jī)酸的水，當(dāng)下一步通過(guò)陰離子交換樹(shù)脂層時(shí)，水中的陰離子被陰離子交換樹(shù)脂吸附。
精處理
樹(shù)脂上可交換的陰離子如OH離子被置換到水中，并與水中的H離子結(jié)合成水，即精處理，包括紫外線(xiàn)殺菌、終端膜過(guò)濾和超濾。紫外線(xiàn)殺菌是因生物體的核酸吸收紫外線(xiàn)光的能量而改變核酸自身結(jié)構(gòu)，破壞核酸功能而使細(xì)菌死亡。