姓名：lemens Todt
今天，小編和lemens Todt 進行了一場面對面交流，給大家講講實驗過程中新奇的小故事~
Todt: 我們研究小組目前從事于晶體生長的材料，主要用來制造III/V半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)。
其中二維電子氣可是我們的專長~至于我的研究重點是半導(dǎo)體與超導(dǎo)體的相互作用，其結(jié)果可能對量子計算機產(chǎn)生很重要的影響。
Todt: 半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)是一種特殊的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，它是由兩層以上不同的半導(dǎo)體材料薄膜依次沉積在同一基座上形成，這些材料具有不同的能帶隙。
Todt: 對于半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)，我們使用分子束外延（MBE）生長方法——一種物理氣相沉積工藝。使用此方法的顯著優(yōu)勢是：可以利用原子精度生長不同材料的復(fù)雜層序列。這種方法適用于低熔點金屬，如銦或鎵。它們被蒸發(fā)后在真空環(huán)境下，在載體層（稱為襯底或晶片）的表面形成定向分子流。一個原子接一個原子以所需的結(jié)構(gòu)沉積在晶片上并結(jié)晶成薄膜。
而在我研究的領(lǐng)域內(nèi)，超導(dǎo)層是以鈮為基礎(chǔ)的。這種金屬的熔點極高，高達2500°C。在這個過程中，整個系統(tǒng)升溫，外來原子從鋼中擴散出來。因此，樣品可能會在這個過程中損壞。隨后，我們決定使用另一種沉積工藝————磁控濺射。在這個工藝中，金屬被放置在一個腔室中，我們向其中注入氬氣。在1 x 10-3 mbar至5 x 10-2mbar的壓力下，點燃氬氣等離子體。氬離子撞擊涂層材料的表面，這些被敲除的顆粒然后遷移到晶片上并沉積。
而在這個環(huán)節(jié)中，真空泵發(fā)揮了很重要的作用。
Todt: 首先，我建造了一個新的磁控濺射系統(tǒng)（驕傲臉），雖然很有挑戰(zhàn)性，但這讓人興奮！
其次，我們親自組裝了低溫泵，低溫真空泵屬于吸附泵，也是氣體結(jié)合泵，該泵以1500 L/s的速度從磁控濺射系統(tǒng)中吸入氬氣。在泵內(nèi)部，表面被冷卻到幾開爾文，分子和原子可以像在冰箱里一樣凝結(jié)在上面。一旦低溫泵“滿載”，就必須對其進行再生。接著，另一個真空泵開始發(fā)揮作用——前置泵。在此過程中，氣體通過前置泵釋放并泵出，當?shù)蜏乇帽怀榭諘r，泵和腔室必須達到必要的真空度，在該真空度下低溫泵可以再次冷卻。
Todt: 我們期望得到盡可能純凈的產(chǎn)物，當?shù)蜏乇迷偕鷷r，來自前置泵的污染物可能會進入系統(tǒng)中，例如空氣中的水、油等。我們希望使用絕對干凈的前置泵來避免這些污染。
過去，我們?yōu)榇藴y試了各種技術(shù)：我們嘗試使用渦輪泵作為前置泵。但是渦輪泵的軸承會隨著時間的推移因振動而損壞。所以我們嘗試了螺桿泵VACUU·PURE10。
Todt:首先，我們精確地研究螺桿泵VACUU·PURE 10是否可以在我們的工廠使用。其次，我們正在尋找一種堅固耐用且高純度的真空泵：其基本壓力必須至少為10-2 mbar。此外，需要足夠大的抽速來處理從低溫泵逸出的氣體。當然，同樣重要的是，它是絕對無油和無顆粒的。
VACUU·PURE符合所有這些要求。我們在低溫泵的試驗箱上測試了該泵。螺桿泵沒有出現(xiàn)故障。并且從質(zhì)譜儀中看到，它沒有將油和其他碳氫化合物或磨損帶入系統(tǒng)。
磁控濺射系統(tǒng)上的VACUU·PURE®螺桿泵
10^-3mbar的極限真空
最大抽度為10 m³/h
100%無油，不含碳氫化合物
無磨損，無顆粒
非常適合低溫泵的再生
適用于泵送氬氣等輕質(zhì)氣體
設(shè)計緊湊
方便移動
遠程操作
選擇VACUUBRAND螺桿泵，讓你的實驗和Todt的實驗一樣無憂無慮。
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