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接觸式測(cè)量?jī)x與激光位移傳感器

接觸式測(cè)量裝置一般會(huì)存在這樣的一個(gè)問(wèn)題，當(dāng)其測(cè)量頭超過(guò)一定尺寸后，就無(wú)法測(cè)量下圖所示的凹槽深度。相比而言，激光位移傳感器的激光光點(diǎn)尺寸僅有 ø2 µm 或稍大，因此可以執(zhí)行微觀測(cè)量。

1

共焦原理 LT-9000 系列

建議用于zui為精細(xì)的測(cè)量

 

2

三角測(cè)量法原理 LK-G5000 系列

建議在需要較大間距時(shí)使用

 

3

2D 三角測(cè)量法原理 LJ-V7000 系列

 

建議當(dāng)目標(biāo)尺寸超出 LT-9000 系列 的掃描范圍時(shí)使用

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共焦原理 LT-9000 系列

建議用于zui為精細(xì)的測(cè)量

 

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三角測(cè)量法原理 LK-G5000 系列

建議在需要較大間距時(shí)使用

 

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2D 三角測(cè)量法原理 LJ-V7000 系列

 

建議當(dāng)目標(biāo)尺寸超出 LT-9000 系列 的掃描范圍時(shí)使用