測(cè)量范圍

mbar (Torr)

1.0 x 10-8 至 5 x 10-3 (0.75 x 10-8 至 3.75 x 10-3)

1.0 x 10-8 至 6.7 x 10-3 (0.75 x 10-8 至 5.0 x 10-3) [RS 232/EtherCAT]

測(cè)量不確定性 1)

mbar

1 x 10-8 至 1 x 10-3 ±30 % 測(cè)量值

測(cè)量重復(fù)性 1)

mbar

1 x 10-8 至 1 x 10-3 ±30 % 測(cè)量值

變 送 器 測(cè)量原理

冷陰極電離規(guī)

電源電壓

V DC

9 - 30

功耗

W

< 2

電氣連接

FCC68 / RJ 45 [EtherCAT: RS 232]

信號(hào)輸出

Vout = 1.33 x log 10 (Pmbar) + 12.66

V DC

2.0 至 9.6

分辨率

bit

16

阻抗

Ω

100

刷新率

Hz

16

數(shù)字接口

RS 232, EtherCAT

設(shè)定點(diǎn)

調(diào)節(jié)范圍 mbar (Torr)

繼電器

繼電器觸點(diǎn)容量

繼電器觸點(diǎn)大阻值 mΩ

繼電器觸點(diǎn)短壽命

1.0 A@ 30  V DC load

0.2 A@ 30  V DC load

N/A / 1 x 10-8 至 5 x 10-3 (0.75 x 10-8 至 3.75 x 10-3) [RS 232]

0 / 3 [RS 232) / 2 [EtherCAT]

N/A / 1 A @ 30 V AC/DC,電阻負(fù)載 [RS 232] N/A / 100 [RS 232]

N/A / 100 000 [RS 232]

N/A / 2 000 000 [RS 232]

狀態(tài)指示器

LED- 環(huán) (360°)

大電纜長(zhǎng)度

m

100

過壓范圍

bar

2

運(yùn)行溫度范圍

°C (°F)

0 至 40 (32至 104)

儲(chǔ)存溫度范圍

°C (°F)

-20 至 +65 (-4 至 149)

高烘烤溫度 (非運(yùn)行狀態(tài))

°C (°F)

85 (185)

大相對(duì)濕度

% n.c.

0 - 95

安裝方向

任意角度

與工藝氣體接觸的材料

304 不銹鋼, 403 不銹鋼, 陶瓷, 氟橡膠®, 鈦, 低釋氣率環(huán)氧樹脂

封閉空間 (DN 25 ISO-KF), 近似.

cm3

25.6

重量 (DN 25 ISO-KF)

g

318

防護(hù)等級(jí)

IP

40

CE 認(rèn)證

EMC 指令 2004/108/EC