7月16日—7月19日，由中國科學(xué)院人事局資助、中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所主辦、上海無機(jī)非金屬材料分析測試專業(yè)平臺和上海材料與制造大型儀器區(qū)域中心協(xié)辦的“半導(dǎo)體材料與器件分析檢測技術(shù)"培訓(xùn)班在上海舉辦。本次培訓(xùn)旨在進(jìn)一步加強(qiáng)半導(dǎo)體分析檢測技術(shù)高技能人才隊伍建設(shè)，使科技人員適應(yīng)科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，掌握該技術(shù)領(lǐng)域的新技能，新方法，開拓視野，提高科學(xué)實驗技能和實驗儀器的使用效能。
福立儀器半導(dǎo)體行業(yè)專家、廈門大學(xué)特聘專家陳登云博士在會上不僅作了《電子特氣前沿分析技術(shù)》精彩報告，還展示了公司在半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)的解決方案，彰顯了福立在技術(shù)創(chuàng)新和服務(wù)方面的實力。
電子特氣是指用于生產(chǎn)顯示面板、半導(dǎo)體、光伏等電子產(chǎn)品的特種氣體,是特種氣體的一個重要分支,廣泛應(yīng)用于刻蝕、薄膜、摻雜等工藝。在整個半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)過程中，從芯片生產(chǎn)到最后器件的封裝，幾乎每一個環(huán)節(jié)都離不開電子特氣。
陳登云博士在報告中深入探討了電子特氣在半導(dǎo)體制造過程中的關(guān)鍵作用，以及如何通過先進(jìn)的分析技術(shù)確保電子特氣的質(zhì)量和純度，從而保障半導(dǎo)體器件的性能和可靠性。
陳博士還詳細(xì)介紹了福立儀器在電子特氣分析領(lǐng)域的最新研究成果和應(yīng)用方案，包括智能高效的分析儀器、穩(wěn)定可靠的檢測方法、人性化數(shù)據(jù)處理工作站以及在線分析技術(shù)等，這些技術(shù)的應(yīng)用極大地提高了電子特氣分析的效率和精度。
伴隨IC芯片制程技術(shù)的不斷發(fā)展，產(chǎn)品的生產(chǎn)精度越來越高，用于集成電路制造的電子特氣亦提出了更高的純度要求。而電子特氣的純度主要受氣體提純技術(shù)、氣體檢測技術(shù)、氣體的儲存和運輸?shù)葞讉€方面的影響，所以這對分析檢測方法和儀器也有了更高的要求。福立儀器采用先進(jìn)的分析技術(shù)和儀器設(shè)備，能夠?qū)﹄娮犹貧庵械碾s質(zhì)進(jìn)行高精度的檢測，確保氣體的超高品質(zhì)。
福立F80氣相色譜儀搭載氦離子化(PDHID)檢測器，每一種氣路系統(tǒng)的設(shè)計都基于背景氣，具有出色的痕量雜質(zhì)檢測能力，數(shù)據(jù)結(jié)果穩(wěn)定可靠。除此之外，針對不同分析樣品，福立專業(yè)系統(tǒng)氣相工程師能夠改裝制定多閥多柱色譜系統(tǒng)，滿足用戶定制化需求。
F80氣相色譜儀保留了GC97系列氣相色譜儀高穩(wěn)定性、耐用性，在智能化人機(jī)交互、精細(xì)化控制和安全保障等性能上全面提升，還新增了移動端遠(yuǎn)程監(jiān)控功能，為客戶帶來更好的使用及維護(hù)體驗。
典型的半導(dǎo)體電子特氣具有高毒、高爆、反應(yīng)活性大等特征，對于取樣、抗污染等技術(shù)提出了很高的要求。電子特氣的質(zhì)量控制技術(shù)越來越趨向無人化和在線化。福立儀器最新推出多款在線色譜技術(shù)，不僅在精細(xì)化工、空分等行業(yè)得到廣泛應(yīng)用，在強(qiáng)調(diào)安全性和智能化的基礎(chǔ)上，也進(jìn)一步開拓半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是信息技術(shù)領(lǐng)域的基礎(chǔ)，幾乎所有的電子設(shè)備和系統(tǒng)都依賴于半導(dǎo)體技術(shù)，而半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)與電子特氣息息相關(guān)。福立儀器將繼續(xù)致力于技術(shù)創(chuàng)新，為半導(dǎo)體行業(yè)提供高品質(zhì)、高性能的分析儀器和整體應(yīng)用解決方案，幫助客戶提升產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率，推動半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展。
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