目錄:日立科學(xué)儀器有限公司>>掃描電鏡>>日立掃描電鏡>> N-6000納米探針檢測系統(tǒng)
項(xiàng)目 | 描述 | |
探針單元 | 探針單元數(shù)量 | 6（zui多） |
驅(qū)動方法 | 壓電式 | |
精調(diào)范圍 | 5μm（X，Y軸） | |
粗調(diào)范圍 | 5mm（X，Y軸） | |
探針頭交換 | 氣鎖交換室 | |
樣品臺 | 位置檢測 | 光學(xué)線性量規(guī) |
樣品尺寸 | 15mm x 15mm x 1mm 或更薄 | |
行程范圍 | ±7.5 mm（X, Y軸） | |
樣品交換 | 氣鎖樣品交換倉 | |
探針鏡臺 | 行程范圍 | 每個位置 ±5 mm |
行程位置 | 檢測/樣品交換/探針大致對中齊/探針交換 | |
電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 冷場電子發(fā)射源 |
加速電壓 | 0.5 kV - 5 kV（EBAC模式（*）：zui大30 kV） | |
圖像位移 | ±100μm 或更長（2 kV，WD=15 mm） | |
EBAC放大器（*） | 電流放大器，差分放器 | |
圖像顯示 | 掃描電子顯微鏡/ EBAC（*）（單一/平行/覆蓋），上面和側(cè)面CCD攝像頭 | |
真空系統(tǒng) | 自動系統(tǒng) | |
顯示器 | 液晶顯示器 | |
項(xiàng)目 | （W）x（D）x（H） | 重量 |
| 鏡筒單元 | 1,190 x 1,377 x 1,605mm | 780kg |
| 顯示單元 | 1,000 x 960 x 1,200mm | 205kg |
| EBAC單元（*） | 600 x 1,000 x 1,760mm | 150kg |
項(xiàng)目 | 描述 | |
| 室溫 | 15~25 | |
| 濕度 | 60% RH（相對濕度）或更低 | |
| 電源 | 單相 AC100V±10%, 5kVA | |
| 接地 | D級（100 或更?。?/td> | |
（*）：選購件
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