目錄:日立科學(xué)儀器有限公司>>掃描電鏡>>日立掃描電鏡>> 微小器件特性評價裝置nanoEBAC NE4000
電子束吸收電流表征技術(shù)提供了一種快速，有效地識別內(nèi)部連接開路，高電阻以及短路的方法，無需低平層的直接探測技術(shù)。EBAC技術(shù)利用電子束穿過絕緣層，使低位的金屬層吸收電子束電流。
通過場發(fā)射掃描電子顯微鏡的加速電壓，控制電子束穿透電介質(zhì)層的探測深度。單個探針放置于外露的上層金屬薄膜上，形成閉合回路，以便電子流過連接線。使用兩個探針和日立技術(shù)的差動電子束吸收電流表征放大器，可產(chǎn)生賽貝克效應(yīng)，從而觀察高電阻和短路情況。
采用彩色顯示功能，對4層鋁質(zhì)連接線進(jìn)行電子束吸收電流表征成像。
*電流放大器圖像
| 探測裝置 | |
| 裝置編號 | 4 |
| 驅(qū)動方法 | 壓電式 |
| 微動行程范圍 | 5μm （X,Y） |
| 粗動行程范圍 | 6mm （X,Y） |
| 樣品臺/基座臺 | |
| 樣品尺寸 | 25mm × 25mm × 1mm 厚或更薄 |
| 橫向位置 | 測量/樣品交換位置 |
| 樣品交換 | 氣鎖交換室 |
| 探針導(dǎo)航 | 樣品臺平移探針定位 |
| 測量位置記憶 | |
| 探針粗調(diào) | |
| CCD圖像顯示 | 橫向圖像顯示 |
| 電子光學(xué) | |
| 電子槍 | 場發(fā)射電子源 |
| 加速電壓 | 0.5kV to 30kV |
| 分辨率 | 15nm （2kV，工作距離為15mm） |
| 圖像移動 | ±150μm （2kV，工作距離為15mm） |
| 電子束吸收電流放大器/圖像顯示 | |
| 放大器類型 | 電流放大器/差動放大器 |
| 圖像顯示 | SEM/EBAC（單一/并列/疊加） |
| 圖像處理 | 黑白反轉(zhuǎn)顯示，彩色顯示，亮度調(diào)節(jié)，積分慢掃描，層區(qū)掃描 |
| 主機(jī) | 1,100（W）× 1,550（D）× 1,750（H）mm, 850kg |
| 顯示裝置 | 1,000（W）× 1,005（D）× 1,200（H）mm, 265kg |
| 室溫 | 15至25 ºC |
| 濕度 | 相對濕度不高于60% |
| 電源 | AC100V±10% 5kVA （M5接線端子） |
| 接地電阻 | 不高于100Ω |
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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