在半導(dǎo)體器件的研發(fā)與生產(chǎn)過(guò)程中，確保其性能的可靠性和穩(wěn)定性至關(guān)重要。高壓加速老化試驗(yàn)箱能夠模擬各種惡劣環(huán)境條件，通過(guò)對(duì)半導(dǎo)體器件施加高電壓和高溫等應(yīng)力，快速暴露潛在的缺陷和故障，大大縮短了產(chǎn)品可靠性驗(yàn)證的時(shí)間。

二、測(cè)試流程：

樣品準(zhǔn)備：選擇一定數(shù)量且型號(hào)規(guī)格相同的半導(dǎo)體器件作為測(cè)試樣品，確保樣品外觀無(wú)明顯損傷、引腳無(wú)變形等。對(duì)每個(gè)樣品進(jìn)行編號(hào)，記錄初始參數(shù)，如正向?qū)妷?、反向漏電流等?/span>

試驗(yàn)箱設(shè)置：根據(jù)半導(dǎo)體器件的特性和測(cè)試要求，設(shè)置高壓加速老化試驗(yàn)箱的參數(shù)。包括設(shè)定老化電壓，一般為器件額定電壓的 1.5 - 2 倍；老化溫度，通常在 100 - 150℃之間；老化時(shí)間，可根據(jù)實(shí)際情況設(shè)定為 24 小時(shí)、48 小時(shí)或更長(zhǎng)。

樣品安裝：將編號(hào)后的半導(dǎo)體器件小心安裝在試驗(yàn)箱的樣品架上，確保器件引腳與測(cè)試夾具連接牢固，避免虛接影響測(cè)試結(jié)果。

測(cè)試過(guò)程：?jiǎn)?dòng)試驗(yàn)箱，開(kāi)始老化測(cè)試。在老化過(guò)程中，每隔一定時(shí)間（如 1 小時(shí)）對(duì)樣品進(jìn)行一次參數(shù)測(cè)量，記錄正向?qū)妷?、反向漏電流、結(jié)溫等參數(shù)變化。若發(fā)現(xiàn)某個(gè)樣品參數(shù)超出正常范圍，應(yīng)立即標(biāo)記并記錄相關(guān)情況。

測(cè)試結(jié)束：達(dá)到設(shè)定的老化時(shí)間后，關(guān)閉試驗(yàn)箱，待溫度降至室溫后，取出樣品。再次對(duì)所有樣品進(jìn)行全面參數(shù)測(cè)量，并與初始參數(shù)進(jìn)行對(duì)比分析，評(píng)估器件的老化性能。

測(cè)試數(shù)據(jù)參考：

樣品編號(hào)	初始正向?qū)妷?/span> (V)	老化 1 小時(shí)正向?qū)妷?(V)	老化 2 小時(shí)正向?qū)妷?(V)	老化 3 小時(shí)正向?qū)妷?(V)	老化結(jié)束正向?qū)妷?/span> (V)	初始反向漏電流 (A)	老化 1 小時(shí)反向漏電流 (A)	老化 2 小時(shí)反向漏電流 (A)	老化 3 小時(shí)反向漏電流 (A)	老化結(jié)束反向漏電流 (A)	初始結(jié)溫 (℃)	老化 1 小時(shí)結(jié)溫 (℃)	老化 2 小時(shí)結(jié)溫 (℃)	老化 3 小時(shí)結(jié)溫 (℃)	老化結(jié)束結(jié)溫 (℃)
1	0.70	0.71	0.72	0.73	0.75	1.00×10??	1.20×10??	1.50×10??	1.80×10??	2.20×10??	30	40	50	60	70
2	0.71	0.72	0.73	0.74	0.76	1.10×10??	1.30×10??	1.60×10??	1.90×10??	2.30×10??	31	41	51	61	71
3	0.69	0.70	0.71	0.72	0.74	0.90×10??	1.10×10??	1.40×10??	1.70×10??	2.10×10??	29	39	49	59	69

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高壓加速老化試驗(yàn)箱測(cè)試半導(dǎo)體器件可靠性方法

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