原子熒光光譜儀是一種光譜類痕量分析儀器，其中的原子熒光指的是將被測樣品液體經(jīng)過原子化成為氣態(tài)基態(tài)自由原子后，使其吸收外部光源一定頻率的輻射能量躍遷至高能態(tài)，這些高能態(tài)的電子一般在小于10-8秒即返回基態(tài)，并以特征光譜形式放出能量，即原子熒光。
原子熒光光譜儀的發(fā)展歷程：
用原子熒光來測量元素含量，較早在1964年上提出，先后由美國和英國的研究小組進行基礎(chǔ)理論研究，后由美國公司進行先期的生產(chǎn)，直至1995年左右，國外才生產(chǎn)出來商品化原子熒光。相比較國外，國內(nèi)原子熒光技術(shù)的發(fā)展則較為迅猛，1975年開始研究，1979年西北有色地質(zhì)研究所的郭小偉教授研究成功氫化法原子熒光光譜儀(HG-AFS)，80年代初一臺原子熒光的誕生。
七十年代末期，我國地礦部要進行大范圍的地質(zhì)普查，測量砷、銻、鉍、汞，以前使用的化學(xué)法測量不但慢，工作量大，也無法重復(fù)性。因此國家有色地質(zhì)總局給西北有色地質(zhì)研究院的郭小偉研究小組下達了課題，研究一種儀器來進行這些元素的測量。
1979年郭小偉成功研制出用溴化物無極放電燈做激發(fā)光源的光譜儀，然后于80年代初期，研究小組用技術(shù)無償支援且回購所有成品的方式，與北京地質(zhì)儀器廠合作，共同研制生產(chǎn)出一臺原子熒光光譜儀(也曾和西安無線電八廠、浙江溫州分析儀器廠、江蘇寶應(yīng)分析儀器廠等進行過合作和試生產(chǎn))。自此，中國的原子熒光行業(yè)飛速發(fā)展：
1985年北京地質(zhì)儀器廠開始批量生產(chǎn)原子熒光光譜儀
1987年空心陰極燈及其供電方法替代了無極放電燈
1989年由手動儀器變成微機控制的半自動型設(shè)備
1990年產(chǎn)生了流動注射進樣方式
1994年郭小偉發(fā)明了斷續(xù)流動進樣裝置
1995年張錦茂等研制了氬氫火焰低溫點燃裝置
1998年郭小偉教授研究成功火焰法原子熒光，可測金銀等
2002年劉明鐘、方肇倫等將順序注射裝置用于進樣系統(tǒng)
2002年，郭小偉教授提出了連續(xù)流動進樣技術(shù)，并投入研發(fā)，直至2005年才成功投產(chǎn)。
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