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X射線熒光光譜儀（以下簡(jiǎn)稱XRF）是一種可以對(duì)多種元素進(jìn)行快速、非破壞性測(cè)定的儀器，其工作原理可表述為：待測(cè)樣品受X射線照射后，其中各元素原子的內(nèi)殼層（K、L或M殼層）電子被激發(fā)逐出原子而引起殼外電子躍遷，并發(fā)射出該元素的特征X射線（熒光）；通過(guò)測(cè)定特征X射線的波長(zhǎng)（或能量）和強(qiáng)度，即可進(jìn)行待測(cè)元素的定性和定量分析的光譜分析儀器。

波長(zhǎng)色散型X射線熒光光譜儀(WD-XRF)，是用晶體分光而后由探測(cè)器接收經(jīng)過(guò)衍射的特征X射線信號(hào)。如果分光晶體和控測(cè)器作同步運(yùn)動(dòng)，不斷地改變衍射角，便可獲得樣品內(nèi)各種元素所產(chǎn)生的特征X射線的波長(zhǎng)及各個(gè)波長(zhǎng)X射線的強(qiáng)度，可以據(jù)此進(jìn)行定性和定量分析。該儀器產(chǎn)生于50年代，由于可以對(duì)復(fù)雜體系進(jìn)行多組分同時(shí)測(cè)定，受到觀注，特別在地質(zhì)部門，先后配置了這種儀器，分析速度顯著提高，起了重要作用。

隨著科學(xué)技術(shù)的，在60年代初發(fā)明了半導(dǎo)體探測(cè)器以后，對(duì)X-熒光進(jìn)行能譜分析成了可能。能譜色散型X熒光光譜儀(ED-XRF)，用X射線管產(chǎn)生原級(jí)X射線照射到樣品上，所產(chǎn)生的特征X射線(熒光)直接進(jìn)入半導(dǎo)體探測(cè)器，便可以據(jù)此進(jìn)行定性分析和定量分析。

由于普通能量色散X熒光采用低功率X射線管，又采用濾光片扣除背景和干擾，其背景偏高，分辨率偏小，使得應(yīng)用范圍受到限制，特別是在輕元素的分析受到限制。隨之X射線偏振器的誕生，產(chǎn)生了一款新型的能量色散X熒光光譜儀，既偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF，再加上SDD探測(cè)器的使用，不僅提高了(相對(duì)使用正比計(jì)數(shù)管和Si(PIN)探測(cè)器的儀器)的分辨率，免去Si(Li)探測(cè)器使用液氮冷卻的繁瑣和危險(xiǎn)，彌補(bǔ)了原來(lái)普通能量色散X熒光的輕元素檢出限高，分辨率差的缺陷，又使得(相對(duì)波長(zhǎng)色散X熒光用戶)購(gòu)買和使用X熒光儀器的成本大大減低，這使得偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF在分析領(lǐng)域的迅猛發(fā)展，越來(lái)越受到廣泛關(guān)注。