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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
HPGP-101-C高壓氣體探頭
靈敏度: 0.1 - 5.0 µm
HPGP-101-C高壓氣體探頭
高技術(shù)生產(chǎn)工藝通常要求高純度氣體。HPGP-101-C高壓氣體探頭為在線壓力下的工藝氣體提供可靠的在線污染監(jiān)測。HPGP-101-C高壓氣體探頭和氧氣、氫氣以及大多數(shù)無害氣體相匹配，它可以應(yīng)用于多種活性氣體監(jiān)測。HPGP-101-C高壓氣體探頭會在影響產(chǎn)量之前，加快工藝氣體分配系統(tǒng)的資格確認(rèn)，監(jiān)測氣體中的粒子。HPGP與粒子數(shù)據(jù)系統(tǒng)、以太網(wǎng)(pds-e)配對，收集并報告由探測器捕獲的數(shù)據(jù)。
特點
- 安全保護(hù)殼
- 氧氣與氫氣兼容性
- 0.1SCFM下，靈敏度為0.1μm
- 8個粒子通道
- 管道壓力從40到150psig
- 被動式激光源
- 并行處理陣列檢測器系統(tǒng)
優(yōu)點
- 核實粒子質(zhì)量
- 檢測工藝異常
- 量化系統(tǒng)更改的影響
- 提供精確粒徑
- 使用 Facility Net軟件來進(jìn)行全面的數(shù)據(jù)存儲、管理、報告和警報
- 被動式激光源設(shè)計只需極少的維護(hù)
- 凈化的惰性氣體確保安全
- 樣本氣體一旦泄漏，容器立刻終止電源
應(yīng)用
- 氣體分布系統(tǒng)的資格確認(rèn)
- 工藝氣體監(jiān)測
- 活性氣體監(jiān)測
