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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
尼康金相顯微鏡采用尼康專有的CFI60光學(xué)系統(tǒng)，提供高清晰度，對(duì)比度和透射率。增強(qiáng)EPI-365nm紫外線激發(fā)熒光功能，使出色適合半導(dǎo)體殘留在300mm晶圓上和有機(jī)電致發(fā)光顯示器的檢查。圖像亮度已顯著提高，傳統(tǒng)的顯微鏡相比，這些顯微鏡系列適合各種檢查。
尼康金相顯微鏡主要特點(diǎn)
•專為300mm晶圓和光罩檢測(cè)
•利用更高的分辨率，對(duì)比度和透射CFI60光學(xué)系統(tǒng)
•更高的亮度比傳統(tǒng)的顯微鏡
•新光源和四次美好的透射照明，*的光學(xué)設(shè)計(jì)結(jié)果
•預(yù)中心的燈箱提供更高的亮度，同時(shí)僅消耗一半的電力，并減少熱致離焦
•電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器比傳統(tǒng)模式更耐用三倍
應(yīng)用
•晶圓
•液晶顯示器
•其他各種檢查
兩種機(jī)型可供選擇
•L300N：Episcopic照明類型
zui大樣品尺寸：300mm晶圓
*階段行程：354x302毫米
放大倍率范圍：15X-2000X（目鏡和目標(biāo)而定）
•L300ND：透射/Episcopic照明類型
zui大樣品尺寸：17英寸平板顯示器（FPD）
*階段行程：354x302毫米（透射照明范圍：354x268毫米）
放大倍率范圍：15X-2000X（目鏡和目標(biāo)而定）
各種各樣的觀測(cè)技術(shù)
各種各樣的觀測(cè)技術(shù)，如明場(chǎng)，暗場(chǎng)，簡(jiǎn)單的偏光，DIC和外延flourescence觀察，是可能的。采用Epi-flourescence觀察，紫外激發(fā)可應(yīng)用于包括300mm晶圓和OLED檢查應(yīng)用。
暗場(chǎng)觀察
新開發(fā)的暗場(chǎng)照明光學(xué)顯著提高圖像的亮度和提高分鐘內(nèi)樣品的劃痕和拓樸的檢測(cè)能力。
明場(chǎng)觀察
尼康CFI60系統(tǒng)-一個(gè)成功合并的CF光學(xué)系統(tǒng)無限遠(yuǎn)光學(xué)-高亮度，高對(duì)比度的圖像。
NomarskiDIC的觀測(cè)
尼康L300N/L300ND金相顯微鏡采用單棱鏡（Senarmont）系統(tǒng)，使所有的放大倍率DIC的觀察，通過簡(jiǎn)單地插入物鏡轉(zhuǎn)換器單Nomarski棱鏡。DIC的圖像清晰和與zui小的色調(diào)明快，即使在低放大倍率。高對(duì)比度型DIC的滑塊允許更大的敏感性形成的DIC圖像。
半兼容設(shè)計(jì)
尼康L300N/L300ND金相顯微鏡符合半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會(huì)（SEMI）為安全準(zhǔn)則（S7-0703）和人體工程學(xué)（S8-1103）。由于目鏡的位置更貼近運(yùn)營(yíng)商，不觸摸階段的運(yùn)營(yíng)商，即使是他或她的走向，確保安全，舒適地觀看。
防靜電更強(qiáng)有力的保障
靜電放電涂料已應(yīng)用于身體的階段，鏡筒（L2-TT2型），及各種控制。這加強(qiáng)了防止污染的保障，并避免損壞由靜電引起的樣品，從而有利于單產(chǎn)提高。