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奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡

能對(duì)應(yīng)200mm晶圓和FPD玻璃基板的電動(dòng)型號(hào)（反射透射兼用），能夠應(yīng)對(duì)從明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時(shí)亮度光圈連動(dòng)能進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié)。這些功能實(shí)現(xiàn)了快速舒適的檢查環(huán)境。
半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡 MX61

奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡

OLYMPUS 奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡MX51是一款高性價(jià)比的顯微鏡，適用于各種電子元件、晶圓和大型樣本的觀察需求。
高靈敏度載物臺(tái)可以迅速?zèng)Q定位置
內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄
MX51主要操作部件集中在前面，操作人員易于操作，即使長時(shí)間操作也不會(huì)感到疲勞。150mm載物臺(tái)內(nèi)置離合器，可實(shí)現(xiàn)輕松移動(dòng)。
快速切換物鏡，提高檢查速度

OLYMPUS 奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡MX51

OLYMPUS 奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡MX51是一款高性價(jià)比的顯微鏡，適用于各種電子元件、晶圓和大型樣本的觀察需求。

奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡

高靈敏度載物臺(tái)可以迅速?zèng)Q定位置

內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄

MX51主要操作部件集中在前面，操作人員易于操作，即使長時(shí)間操作也不會(huì)感到疲勞。150mm載物臺(tái)內(nèi)置離合器，可實(shí)現(xiàn)輕松移動(dòng)。

快速切換物鏡，提高檢查速度

電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖

電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時(shí)間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機(jī)，在切換倍率時(shí)也不會(huì)由視場中心附近偏離。

鮮明圖像和不錯(cuò)的分辨率為特點(diǎn)的光學(xué)系

多種選擇可實(shí)現(xiàn)的成像性能

UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產(chǎn)品陣容，可按照用途選用。另外，波像差控制帶來的高品質(zhì)，忠實(shí)于樣本的中性色彩顯示等，UIS2物鏡無論是在目視觀察中還是在數(shù)碼影像觀察中都能發(fā)揮它的性能。

奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡規(guī)格

光學(xué)系統(tǒng)

UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠(yuǎn)校正）

機(jī)身

觀察方法

明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光

反射/透射

反射/透射

照明裝置

機(jī)身一體型（明視場，暗視場＋1選件）

照明系統(tǒng)

反射照明

100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙

透射照明

纖維光導(dǎo)

對(duì)焦單元

電動(dòng)/手動(dòng)

手動(dòng)

行程

32 mm

分辨率/微調(diào)靈敏度

微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm

大樣本高度

30 mm

物鏡轉(zhuǎn)換器

電動(dòng)型

明視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉5孔
明暗視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉中心輸出5孔

手動(dòng)式

-

載物臺(tái)

行程

8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm（透射照明范圍189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：158（X）×158（Y）mm

觀察筒

廣角視場（視場數(shù)22）

倒置

雙目/三目觀察筒

正像

三目觀察筒

超寬視場（視場數(shù)26.5）

倒置

三目觀察筒

正像

傾斜三目觀察筒

附件單元

DUV單元/IR單元/電動(dòng)載物臺(tái)/自動(dòng)裝載

外形尺寸

509（W）×843（D）×507（H）mm（標(biāo)準(zhǔn)組合）

重量

40 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合）