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更新時(shí)間:2025-05-21 11:15:40瀏覽次數(shù):49評(píng)價(jià)
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高真空磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)--TRP450
真空室結(jié)構(gòu):圓筒形前開門
真空室尺寸:φ450x400mm
極限真空度:≤6.6E-6Pa
沉積源:永磁靶3套,2英寸,可以向上濺射或向下濺射。
樣品尺寸,溫度:φ4英寸,1片,最高800C
占地面積(長x寬x高):約1米x1.8米x2米
電控描述:全自動(dòng)
工藝:片內(nèi)膜厚均勻性:≤3%
特色參數(shù):
產(chǎn)品概述:
本沉積系統(tǒng)可用于制備光學(xué)薄膜、電學(xué)薄膜、磁性薄膜、硬質(zhì)保護(hù)薄膜和裝飾薄膜等,工藝性能穩(wěn)定、模塊化結(jié)構(gòu),采用行業(yè)的軟件控制系統(tǒng)。
設(shè)備用途:
可廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研項(xiàng)目。
用戶評(píng)價(jià):
TRP-450高真空鍍膜機(jī)其設(shè)備質(zhì)量過關(guān),功能齊全,性能穩(wěn)定,自動(dòng)化程度高,抽氣極速平穩(wěn),電源穩(wěn)定可靠,氣路流暢密閉,鍍膜質(zhì)量平整光滑,均勻致密,結(jié)合力強(qiáng),且系統(tǒng)操控智能,便捷,可滿足科研實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)制造的需求,是一款優(yōu)秀的磁控濺射鍍膜系統(tǒng)?!本┦┘夹g(shù)研究院有限公司 李老師
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