一、原理簡(jiǎn)介：
(1)滲透汽化膜技術(shù)是一種新型膜分離技術(shù)。依靠各組分在膜中的溶解與擴(kuò)散速率不同的性質(zhì)來實(shí)現(xiàn)混合物分離的新型膜分離技術(shù)過程。
(2)具有致密皮層的滲透汽化膜將料液和滲透物分離為兩股獨(dú)立的物流。料液側(cè)則一般維持常壓，滲透物側(cè)則通過抽真空或載氣吹掃的方式維持很低的組分分壓。
(3)在膜兩側(cè)組分分壓差的推動(dòng)下，料液中各組分?jǐn)U散通過摸，并在膜后側(cè)汽化為滲透物蒸汽。
(4)真空鍍膜技術(shù)的存在保障了集成電路的高度集成、性能、可靠性、生產(chǎn)效率等。影響頗大，據(jù)估計(jì)，將近50%的大型集成電路工藝都是與真空設(shè)備掛鉤的。
(5)原液中各組分通過膜的速率不同，透過膜快的組分就可以從原液中分離出來。從膜組件中流出的滲余物可以是純度較高的透過速率較慢的組分的產(chǎn)物。對(duì)于一定的混合液來說，滲透速率主要取決于膜的性質(zhì)。
二、應(yīng)用領(lǐng)域：
(1)在超導(dǎo)技術(shù)行業(yè)中的應(yīng)用，常見的鍍膜例子：高純度Nb超導(dǎo)濺射膜、InSb非晶超導(dǎo)膜、V-Hf-Zr系超導(dǎo)膜、Nb-(Cu)系超導(dǎo)膜、Nb-Ge系超導(dǎo)膜等。
(2)航天領(lǐng)域的設(shè)備要求能適應(yīng)高溫、射線輻照、超高真空的環(huán)境，對(duì)于這種環(huán)境下工作的設(shè)備，采用液體潤滑劑等方法已不不著見效了，面對(duì)不可避免的高溫、摩擦、磨損、磨蝕、氧化、氣蝕、腐蝕、滲漏等因素影響，固體潤滑膜是不可少的。
(3)各種結(jié)構(gòu)的薄膜太陽能電池，如非晶硅、Ⅱ-Ⅳ族(如Cds-Cu?S)、Ⅲ-Ⅴ族(如CaAs)等薄膜太陽能電池。鍍一層CaO、ln?O?、SnO?等金屬氧化物薄膜在石英玻璃上可用于太陽能集熱器當(dāng)中；鍍一層CaAs、InP等多晶半導(dǎo)體薄膜于基材之上則可用于太陽能電池或太陽能發(fā)電系統(tǒng)之中。
(4)實(shí)驗(yàn)鍍膜在反應(yīng)堆燃料元件表面通過離子鍍上鋁膜可達(dá)到防腐蝕的效果；在受控?zé)岷朔磻?yīng)堆的一些低原子序數(shù)、高熔點(diǎn)材料(如TiB?、B?C、TiC等)薄膜，可形成表面保護(hù)、高溫保護(hù)等。
