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SKP5050-開爾文探針表面光電壓譜儀
  • SKP5050-開爾文探針表面光電壓譜儀
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更新時(shí)間:2024-10-23 16:27:25

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開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置,用于測(cè)量導(dǎo)體材料的功函數(shù)(Work Function)或半導(dǎo)體、絕緣表面的表面勢(shì)(Surface Potential)。
材料表面的功函數(shù)通常由Z上層的1-3層原子或分子決定,所以開爾文探針是一種Z靈敏的表面分析技術(shù)。

我們的開爾文探針系統(tǒng)包括:
□單點(diǎn)開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境);
□掃描開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制

開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置,用于測(cè)量導(dǎo)體材料的功函數(shù)(Work Function)或半導(dǎo)體、絕緣表面的表面勢(shì)(Surface Potential)。

材料表面的功函數(shù)通常由zui上層的1-3層原子或分子決定,所以開爾文探針是一種zui靈敏的表面分析技術(shù)。

 

我們的開爾文探針系統(tǒng)包括:

單點(diǎn)開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境);

掃描開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境);

超高真空(UHV)開爾文探針;

濕度控制的腐蝕開爾文探針;

CREATOR: gd-jpeg v1.0 (using IJG JPEG v80), quality = 95


 

掃描開爾文探針系統(tǒng) (ASKP)

ASKP系統(tǒng)是一款可以被大多數(shù)客戶所接收的掃描開爾文探針系統(tǒng),它是在SKP基礎(chǔ)之上包括了彩色相機(jī)/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數(shù)字示波鏡等配置,其規(guī)格如下:

□2毫米,50微米探針;

功函數(shù)分辨率 1-3 meV(2毫米針尖)5-10 meV(50微米針尖);

針尖到樣品表面高度可以達(dá)到400納米以內(nèi);

表面勢(shì)和樣品形貌3維地圖;

探針掃描或樣品掃描選配;

彩色相機(jī)、調(diào)焦鏡頭、TFT顯示器和專業(yè)的光學(xué)固定裝置;

參考樣品(帶相應(yīng)的掃描開爾文探針系統(tǒng)的形貌);

備用的針尖放大器;

□24個(gè)月超長(zhǎng)質(zhì)保期;

 

儀器的特色

*臺(tái)商用的*意義上的開爾文探針系統(tǒng);

zui高分辨率的功函數(shù)和表面勢(shì),的穩(wěn)定性和數(shù)據(jù)重現(xiàn)性;

非零技術(shù)(Off-null,ON) ——ON信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)在高信號(hào)水平下工作,與基于零信號(hào)原理(null-based,LIA)的系統(tǒng)相比,不會(huì)收到噪聲的影響擁有高靈敏度;

高度調(diào)節(jié)技術(shù) ——我們的儀器在測(cè)量和掃描時(shí)可以控制針尖的高度。因?yàn)楣瘮?shù)受樣品形貌的影響,針尖與樣品表面距離的調(diào)節(jié)意味著數(shù)據(jù)的高重現(xiàn)性且不會(huì)漂移;

該領(lǐng)域內(nèi),擁有的信噪比;

快速響應(yīng)時(shí)間 ——測(cè)量速度在0.1-10秒間,遠(yuǎn)快于其他公司產(chǎn)品;

功能強(qiáng)的驅(qū)動(dòng)器 ——選用Voice-coil(VC)驅(qū)動(dòng)器,與通常的壓電驅(qū)動(dòng)器相比,VC驅(qū)動(dòng)器頻率要穩(wěn)定得多、控制的針尖振幅大得多、支持平行多探針操作、支持不同直徑探針操作;

所有開爾文探針參數(shù)的全數(shù)字控制;

 

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