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SPS旋涂儀
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貨物所在地:上海上海市

更新時間:2024-11-16 21:00:07

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SPS旋涂儀是高品質(zhì)、全NPP POLOS單晶片,專為MEMS、半導(dǎo)體、PV、微流體領(lǐng)域等領(lǐng)域的研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計。適用于所有典型的旋涂。工藝:清潔、沖洗/干燥、涂層、顯影和蝕刻。

SPS旋涂儀非常適合處理從直徑為 2.5 毫米到 160 毫米/ 260毫米的小碎片或尺寸為100x100 毫米或 150x150 毫米的方形樣品的各種基材。系統(tǒng)包括帶注射器支架的透明蓋子。直徑可達(dá) 300 毫米。 這些裝置通過易 于使用、可拆卸的彩色觸摸屏進(jìn)行操 作,提供直觀的編程和配方存儲。可 以選擇添加各種噴嘴、超音速清洗和 分配線。所有旋涂機(jī)都標(biāo)配有夾頭。標(biāo)準(zhǔn)單元為NPP材料,PTFE單元為PTFE。SPIN150i 適用于長達(dá) 150 毫米的基 材,包括免費的真空吸盤 A-V36 片段適配器 D-V10。

SPS旋涂儀規(guī)格 可編程 CW 和 CCW 以及攪拌旋轉(zhuǎn) 帶傳感器聯(lián)鎖的自動安全蓋鎖 速度 0 rpm - 12,000 rpm,精度 +/- 0.1 rpm 加速/減速 1 - 30,000 rpm/sec,每步可選


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