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公司動(dòng)態(tài)

巴魯夫傳感器在真空應(yīng)用的高精度解決方案

閱讀:469          發(fā)布時(shí)間:2018-4-16

 

真空應(yīng)用的高精度解決方案

為了在高真空、超高真空和超高純真空中直接使用,需要具有特殊設(shè)計(jì)的傳感器。我們?yōu)榇颂峁┚哂忻芊夤δ艿臄Q入式規(guī)格以及適合安裝在高真空中的高精度光電傳感器。這時(shí)信號(hào)通過(guò)“直通”解決方案通過(guò)電導(dǎo)線的電纜套管從真空腔中引出。

負(fù)載鎖定系統(tǒng)的兩個(gè)備選參考光柵

解決方案 – 版本1

我們的光電傳感器BOH提供一個(gè)用于實(shí)現(xiàn)晶片定心參考光柵的版本。它們作為擰入式規(guī)格在具有密封功能的堅(jiān)固不銹鋼殼體中提供,通過(guò)帶小光點(diǎn)的微型透鏡工作??赏ㄟ^(guò)外部放大器舒適地進(jìn)行精調(diào)。

特點(diǎn)

  • 擰入式規(guī)格
  • 具有密封功能的堅(jiān)固不銹鋼殼體
  • 帶小光點(diǎn)的微型透鏡
  • 適合低至1x10-9 mbar的真空應(yīng)用
  • 配備外部放大器,遠(yuǎn)程校準(zhǔn)簡(jiǎn)單

解決方案 – 版本2

另外我們的光傳感器或帶集成式微型鏡頭的一次性光柵BOH可供使用,我們樂意根據(jù)您的個(gè)性化要求對(duì)它們進(jìn)行匹配。

特點(diǎn)

  • 用于您的個(gè)性化背景的集成式微型透鏡
  • 適合至1x10-9 mbar的真空應(yīng)用

    在嚴(yán)苛的環(huán)境下時(shí)也能可靠識(shí)別晶片

    解決方案

    巴魯夫的光電傳感器BOH甚至能夠通過(guò)真空腔上狹窄的殼體通道可靠檢查晶片的有無(wú)情況。它們具有帶小光點(diǎn)的微型透鏡。我們可按照您的個(gè)性化設(shè)計(jì)規(guī)定實(shí)現(xiàn)密封功能。

    特點(diǎn)

  • 帶小光點(diǎn)的微型透鏡
  • 具有密封功能的堅(jiān)固不銹鋼殼體符合個(gè)性化設(shè)計(jì)規(guī)定
  • 適合低至1x10-9 mbar的真空應(yīng)用
  • 配備外部放大器,遠(yuǎn)程校準(zhǔn)簡(jiǎn)單

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