進(jìn)口美國(guó)MKS真空計(jì)*，392系列微離子Plus結(jié)合了Granville-Phillips®行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和經(jīng)過(guò)應(yīng)用測(cè)試的微離子電離傳感器，帶有創(chuàng)新的微型皮拉尼導(dǎo)體安裝在緊湊型電子設(shè)備上的單個(gè)儀表總成外殼中的傳感器控制模塊。這種緊湊的模塊化設(shè)計(jì)減少了單獨(dú)儀表的數(shù)量，全系列通常需要的真空接口，電纜和控制電子設(shè)備壓力測(cè)量。

進(jìn)口美國(guó)MKS真空計(jì)*

392系列是第二代全量程壓力測(cè)量模塊結(jié)合了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的電離規(guī)技術(shù)和微型熱損失傳感器可提供準(zhǔn)確，連續(xù)的壓力從高真空到大氣的測(cè)量。

全量程壓力測(cè)量作為單個(gè)模擬輸出信號(hào)或通過(guò)可選的串行RS-485或DeviceNet™數(shù)字接口提供。取決于提供了三個(gè)可選的設(shè)定點(diǎn)繼電器，可以將它們配置為用于過(guò)程控制在整個(gè)真空范圍內(nèi)的任何壓力下分配繼電器的能力。該系列392 Micro-Ion Plus可以帶或不帶顯示屏，并且可以配置為寬各種法蘭。第二代Micro-Ion Plus具有集成的儀表組件電子存儲(chǔ)器包含工廠校準(zhǔn)信息。電存儲(chǔ)器由控制器使用模塊可為新的和替換的儀表提供工廠級(jí)的校準(zhǔn)精度，并跟蹤量規(guī)的使用信息，以便MKS服務(wù)團(tuán)隊(duì)可以快速了解您的應(yīng)用程序環(huán)境。微型Pirani Conductron提供更高的精度通過(guò)在量規(guī)范圍內(nèi)進(jìn)行更好的熱管理。

后，392系列和390系列微離子ATM現(xiàn)在共享一個(gè)通用平臺(tái)以提高產(chǎn)品質(zhì)量通過(guò)大批量制造。
在寬廣的真空范圍內(nèi)進(jìn)行精確測(cè)量通常需要多個(gè)儀表組件，另外真空端口，相關(guān)的電氣接口和控制系統(tǒng)。 Micro-Ion Plus全范圍真空模塊將多個(gè)傳感器組合到單個(gè)規(guī)格的管中連接到高級(jí)控制電子模塊創(chuàng)建緊湊的模塊化量規(guī)設(shè)計(jì)接口要求，并降低總體成本所有權(quán)，同時(shí)增強(qiáng)真空測(cè)量性能。下一代Micro-Ion Plus結(jié)合了通過(guò)30年的真空計(jì)獲得的知識(shí)設(shè)計(jì)和現(xiàn)場(chǎng)安裝，以及我們廣泛的與原始設(shè)備制造商（OEM）合作終用戶(hù)客戶(hù)。 高性能，全系列緊湊的單個(gè)真空端口中的真空測(cè)量擁有成本低的設(shè)計(jì)，請(qǐng)選擇系列392 Micro-Ion Plus或從我們的所有MKS系列中進(jìn)行選擇壓力測(cè)量解決方案。

進(jìn)口美國(guó)MKS真空計(jì)*

特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)：
•連續(xù)壓力測(cè)量高真空
•緊湊的多傳感器量規(guī)設(shè)計(jì)
•消除了兩個(gè)獨(dú)立的需求量規(guī)
•雙電離規(guī)燈絲增加設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間
•電離規(guī)激活自動(dòng)化和停用
•可選的模擬，RS-485或DeviceNet介面
•RS-485和DeviceNet具有可選用于過(guò)程控制的設(shè)定點(diǎn)繼電器
•可選的法蘭配置
•現(xiàn)場(chǎng)可更換量規(guī)，低擁有成本
•電子量規(guī)管存儲(chǔ)器可確保放置的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性量規(guī)
•改進(jìn)的微型皮拉尼導(dǎo)體準(zhǔn)確性
•利用第二代產(chǎn)品Granville-Phillips真空吸塵器的30年量規(guī)設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)
•由MKS服務(wù)支持計(jì)劃支持

 

模擬輸出
對(duì)數(shù)壓力，0.5至7.0 VDC，0.5 V /十倍
RS-485串行接口
數(shù)字通信接口2線(xiàn)半雙工
通信格式ASCII：無(wú)奇偶校驗(yàn)，一個(gè)停止位
波特率1200、2400、4800、9600、19200（默認(rèn)），38400
地址0-63，使用地址開(kāi)關(guān)和RS-485命令選擇
DeviceNet接口
消息輪詢(xún)的I / O和顯式
數(shù)據(jù)速率125、250或500 kbaud，可選開(kāi)關(guān)
地址0-63，使用低和高地址開(kāi)關(guān)選擇
工作溫度10°至40°C（50°至104°F），無(wú)冷凝
儲(chǔ)存溫度-40°至+ 70°C（-40°至+ 158°F）
烘烤溫度蕞高105°C（221°F），已拆下電子設(shè)備
電離規(guī)發(fā)射電流自動(dòng)調(diào)整范圍
自動(dòng)離子規(guī)控制設(shè)置（默認(rèn)）
2x10 -2 Torr的電離規(guī)； 2.66x10 -2毫巴;壓力降低時(shí)為2.66 Pa
電離規(guī)關(guān)閉3x10 -2托，3.99X10 -2 mbar;壓力增加時(shí)為3.99 Pa
切換到高發(fā)射5X10 -6 Torr； 6.66X10 -6毫巴; 6.66X10 -4 Pa，壓力降低
切換至低輻射1x10 -5托； 1.33x10 -5毫巴; 1.33X10 -3 Pa，壓力升高
電離計(jì)脫氣電子轟擊； 3瓦1分鐘/單絲
電離規(guī)長(zhǎng)絲鎢或釔包覆的銥
燈絲操作請(qǐng)參見(jiàn)注釋?zhuān)?）交替（默認(rèn)為氧化釔），自動(dòng)，手動(dòng)（默認(rèn)為鎢絲）
熱損失傳感器線(xiàn)鍍金鎢
規(guī)格體積10.8厘米3（0.65英寸3）
LED指示燈模塊狀態(tài)
I / O連接器
RS-485 /模擬15針D-sub公頭
DeviceNet 5針微型連接器
大浪涌電流
RS-485 / Analog 2 A，48W，持續(xù)0.5秒
所需功率
RS-485 /模擬24 VDC + 10％至-15％，1 A，22W;
DeviceNet 24 VDC±15％（20.4V時(shí)1.5A），30W峰值時(shí)3.0A
可選的顯示圖形LCD
可選的設(shè)定點(diǎn)繼電器RS-485或DeviceNet：2個(gè)SPDT（NO / NC）或3個(gè)SPST（NO），每個(gè)都可以獨(dú)立設(shè)置
繼電器觸點(diǎn)額定值
30 VDC時(shí)大1 A，電阻負(fù)載
5 VDC時(shí)小5 mA，電阻負(fù)載
重量728.5克（25.7盎司）（2.75扁平接頭）
表殼材料鋁擠壓粉末涂層
真空304不銹鋼，鉭，鎢，氧化釔涂覆的銥，氧化鋁，CuAg共晶，
Kovar®，鍍金或鎳的Kovar硼硅酸鹽玻璃
符合性CE