T/FJAS 006-2024 濕電子化學(xué)品 再生光阻剝離液
范圍
本文件規(guī)定了再生光阻剝離液的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。
本文件適用于以濕電子化學(xué)品行業(yè)含光阻剝離液回收液為原料，經(jīng)過(guò)提純的光阻剝離液再生產(chǎn)品(以下簡(jiǎn)稱產(chǎn)品)，主要用于顯示面板制造行業(yè)等。
術(shù)語(yǔ)和定義
下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。
濕電子化學(xué)品 wet chemicals
濕電子化學(xué)品又稱超凈高純電子化學(xué)品，是微電子、光電子濕法工藝(主要包括濕法刻蝕、清洗、顯影、剝離等環(huán)節(jié))中使用的各種液體化工材料。
光阻剝離液
一種有機(jī)混合物，主要用于面板制造行業(yè)的光阻剝離，主要成分為乙醇胺(MEA)和二甲基亞砜(DMSO)。
回收液 Iiquid recycIing
主要成分乙醇胺(MEA)、二甲基亞砜(DMSO)、廢光刻膠、水分、金屬雜質(zhì)等。
技術(shù)要求
產(chǎn)品的質(zhì)量技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1的要求。
試驗(yàn)方法
水分的測(cè)定
按 GB/T 6283 的規(guī)定進(jìn)行測(cè)定。
GB/T 6283-2008 化工產(chǎn)品中水分含量的測(cè)定 卡爾·費(fèi)休法(通用方法)
京都電子KEM 卡爾費(fèi)休水分測(cè)定儀 MKV-710S
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