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1.工件在真空狀態(tài)下淬火，應使用真空淬火油，此油具有較低的飽和蒸氣壓。
2.真空爐的保養(yǎng)應在真空或充純氮狀態(tài)下，避免平時不用時吸氣，吸潮。
3.國內真空爐的壓升率應不大于1.33Pa/h，國外某些企業(yè)的標準為0.67Pa/h
4.真空回火爐應該具有快冷裝置。冷卻水的壓力應該大于0.2Mpa，流量應可調。
5.處理鈦合金時，不宜用氮氣作為冷卻氣體，因為鈦和氮在高溫下反應，形成金黃色的氮化鈦。
6.冷卻氣體：鋼一般采用百分之99.995純度的氮氣，高溫合金采用百分之99.999的氮氣或氬氣，鈦合金采用百分之99.995的氬氣。
7.升溫：放入工件后，一般先預抽至6.67Pa時方可升溫加熱
8.真空加熱以輻射為主，工件在爐內應該保持間距。
9.升溫過程中，工件及爐內材料會放氣，使真空度下降。
10.真空回火、真空退火、真空固溶處理及真空時效的加熱溫度一般與常規(guī)處理時加熱溫度相同。
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