SECM 150 是一款價(jià)格低、分辨率高（＜10 nm）、體積小的掃描系統(tǒng)，其小體積的特點(diǎn)尤其適用于手套箱工作。壓電定位器搭載電容位置傳感器，可以在整個(gè)掃描范圍內(nèi)提供10nm 的分辨率。集成的雙恒電位儀，可以測量超低電流，分辨率達(dá)到6.1 fA。

 

（1）如此緊湊，適用于手套箱！

實(shí)驗(yàn)室空間經(jīng)常受限，尤其當(dāng)實(shí)驗(yàn)需要嚴(yán)格的空氣氣氛控制時(shí)，對(duì)實(shí)驗(yàn)儀器的體積大小也有嚴(yán)格的要求。SECM150的設(shè)計(jì)盡可能緊湊，同時(shí)保持了高性能。其重量只有8kg，其尺寸適用于像手套箱一樣狹小的環(huán)境。比如，PU51恒電位儀只有10cm長，61g重。其掃描臺(tái)的尺寸也只有190*225*230mm。SECM150是目前市面上體積小的SECM設(shè)備。

 

（2）超高分辨率＜10nm掃描分辨率

SECM150的探針位置由3個(gè)壓電掃描平臺(tái)控制，掃描范圍為200*200*100μm。每個(gè)坐標(biāo)軸上的位置分辨率都低于10nm。Bio-Logic Pt超微探針有很多不同的尺寸，小1μm。但是SECM150可以適用任何材料的更小的探針。恒電位儀具有較高的電流范圍靈敏度100pA，分辨率6.1fA。SECM150的超高分辨率幾乎可以滿足所有的SECM測試。

 

（3）快速掃描

SECM150在測試過程中，每秒掃描可達(dá)20個(gè)離散點(diǎn)。這種快速掃描儀器可以用來研究時(shí)間變量系統(tǒng)。其掃描速率可達(dá)200μm/s。