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復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司

掃描電子顯微鏡的工作原理

時(shí)間:2016-4-12 閱讀:3744
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(SEM)掃描電子顯微鏡的設(shè)計(jì)思想和工作原理,早在1935年便已被提出來(lái)了。1942年,英國(guó)首先制成一臺(tái)實(shí)驗(yàn)室用的掃描電鏡,但由于成像的分辨率很差,照相時(shí)間太長(zhǎng),所以實(shí)用價(jià)值不大。經(jīng)過(guò)各國(guó)科學(xué)工作者的努力,尤其是隨著電子工業(yè)技術(shù)水平的不斷發(fā)展,到1956年開(kāi)始生產(chǎn)商品掃描電鏡。近數(shù)十年來(lái),掃描電鏡已廣泛地應(yīng)用在生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、冶金學(xué)等學(xué)科的領(lǐng)域中,促進(jìn)了各有關(guān)學(xué)科的發(fā)展。
  一.掃描電鏡的特點(diǎn)
  和光學(xué)顯微鏡及透射電鏡相比,掃描電鏡具有以下特點(diǎn):
  (一)能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu),樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。
  (二)樣品制備過(guò)程簡(jiǎn)單,不用切成薄片。
  (三)樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉(zhuǎn),因此,可以從各種角度對(duì)樣品進(jìn)行觀察。
  (四)景深大,圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍,比透射電鏡大幾十倍。
  (五)圖象的放大范圍廣,分辨率也比較高??煞糯笫畮妆兜綆资f(wàn)倍,它基本上包括了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間,可達(dá)3nm。
  (六)電子束對(duì)樣品的損傷與污染程度較小。
  (七)在觀察形貌的同時(shí),還可利用從樣品發(fā)出的其他信號(hào)作微區(qū)成分分析。
  二.掃描電鏡的結(jié)構(gòu)和工作原理
  (一)結(jié)構(gòu)
  1.鏡筒
  鏡筒包括電子槍、聚光鏡、物鏡及掃描系統(tǒng)。其作用是產(chǎn)生很細(xì)的電子束(直徑約幾個(gè)nm),并且使該電子束在樣品表面掃描,同時(shí)激發(fā)出各種信號(hào)。
  2.電子信號(hào)的收集與處理系統(tǒng)
  在樣品室中,掃描電子束與樣品發(fā)生相互作用后產(chǎn)生多種信號(hào),其中包括二次電子、背散射電子、X射線、吸收電子、俄歇(Auger)電子等。在上述信號(hào)中,zui主要的是二次電子,它是被入射電子所激發(fā)出來(lái)的樣品原子中的外層電子,產(chǎn)生于樣品表面以下幾nm至渦街流量計(jì)
  幾十nm的區(qū)域,其產(chǎn)生率主要取決于樣品的形貌和成分。通常所說(shuō)的掃描電鏡像指的就是二次電子像,它是研究樣品表面形貌的zui有用的電子信號(hào)。檢測(cè)二次電子的檢測(cè)器(圖15(2)的探頭是一個(gè)閃爍體,當(dāng)電子打到閃爍體上時(shí),1就在其中產(chǎn)生光,這種光被光導(dǎo)管傳送到光電倍增管,光信號(hào)即被轉(zhuǎn)變成電流信號(hào),再經(jīng)前置放大及視頻放大,電流信號(hào)轉(zhuǎn)變成電壓信號(hào),zui后被送到顯像管的柵極。
  3.電子信號(hào)的顯示與記錄系統(tǒng)
  掃描電鏡的圖象顯示在陰極射線管(顯像管)上,并由照相機(jī)拍照記錄。顯像管有兩個(gè),一個(gè)用來(lái)觀察,分辨率較低,是長(zhǎng)余輝的管子;另一個(gè)用來(lái)照相記錄,分辨率較高,是短余輝的管子。
  4.真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng)
  掃描電鏡的真空系統(tǒng)由機(jī)械泵與油擴(kuò)散泵組成,其作用是使鏡筒內(nèi)達(dá)到10(4~10(5托的真空度。電源系統(tǒng)供給各部件所需的特定的電源。
  (二)工作原理
  從電子槍陰極發(fā)出的直徑20(m~30(m的電子束,受到陰陽(yáng)極之間加速電壓的作用,射向鏡筒,經(jīng)過(guò)聚光鏡及物鏡的會(huì)聚作用,縮小成直徑約幾毫微米的電子探針。在物鏡上部的掃描線圈的作用下,電子探針在樣品表面作光柵狀掃描并且激發(fā)出多種電子信號(hào)。這些電子信號(hào)被相應(yīng)的檢測(cè)器檢測(cè),經(jīng)過(guò)放大、轉(zhuǎn)換,變成電壓信號(hào),zui后被送到顯像管的柵極上并且調(diào)制顯像管的亮度。顯像管中的電子束在熒光屏上也作光柵狀掃描,并且這種掃描運(yùn)動(dòng)與樣品表面的電子束的掃描運(yùn)動(dòng)嚴(yán)格同步,這樣即獲得襯度與所接收信號(hào)強(qiáng)度相對(duì)應(yīng)的掃描電子像,這種圖象反映了樣品表面的形貌特征。第二節(jié)掃描電鏡生物樣品制備技術(shù)大多數(shù)生物樣品都含有水分,而且比較柔軟,因此,在進(jìn)行掃描電鏡觀察前,要對(duì)樣品作相應(yīng)的處理。掃描電鏡樣品制備的主要要求是:盡可能使樣品的表面結(jié)構(gòu)保存好,沒(méi)有變形和污染,樣品干燥并且有良好導(dǎo)電性能。

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