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沈陽(yáng)加野科學(xué)儀器有限公司

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加野0.1μm級(jí)超小型粒子計(jì)數(shù)器為芯片制造保駕護(hù)航!

閱讀:229      發(fā)布時(shí)間:2021-8-19
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加野0.1μm級(jí)超小型粒子計(jì)數(shù)器為芯片制造保駕護(hù)航!

2020915日,美國(guó)禁止為華為提供5G芯片,也不準(zhǔn)用機(jī)器為華為生產(chǎn)5G芯片,導(dǎo)致華為空有一身強(qiáng)悍技術(shù),卻因?yàn)楣饪虣C(jī)等原因缺芯少魂,無(wú)處施展。美國(guó)采取“斷供"的方式已對(duì)中國(guó)59家企業(yè)實(shí)施“制裁",如果這一批科技產(chǎn)業(yè)鏈*們倒下,中國(guó)的全產(chǎn)業(yè)鏈升級(jí)、中國(guó)制造大升級(jí)將*失敗,絕非危言聳聽。

 

國(guó)人當(dāng)自強(qiáng)!光刻機(jī)、光刻膠、芯片研發(fā)等全產(chǎn)業(yè)鏈的所有生產(chǎn)、技術(shù)都要自主研發(fā),12寸晶圓、光掩膜、EUV光源、透鏡等都要自己制造,芯片自主化生產(chǎn)之路已成必然趨勢(shì)。

 

電子芯片.jpg


由于芯片制造工藝及封裝等生產(chǎn)流程極其復(fù)雜,對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的凈化要求*,必須禁止因粉塵顆粒、工藝偏差等因素造成晶體短路或斷路,控制凈化環(huán)境下的作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)中超微小顆粒物數(shù)量至關(guān)重要!

 

KANOMAX公司推出的超小型粒子計(jì)數(shù)器3950,同時(shí)監(jiān)測(cè)0.1μm0.3μm的單位體積內(nèi)的微小粒子個(gè)數(shù),也可作為傳感器嵌入生產(chǎn)設(shè)備實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)的超微粒子,為凈化作業(yè)環(huán)境的潔凈度評(píng)定提供依據(jù),為芯片制造保駕護(hù)航!

 

3950.jpg


Kanomax超小型粒子計(jì)數(shù)器MODEL 3950,不僅將經(jīng)典品質(zhì)傳承,實(shí)現(xiàn)了嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中,致輕、致小,采樣量2.83L/min,同時(shí)測(cè)試0.1μm0.3μm微小粒子,4.3英寸彩色觸摸顯示屏,可使用附帶軟件在PC上顯示測(cè)試數(shù)據(jù)。設(shè)有RS-485、EthernetUSB通訊接口。

 

通過超小型化的設(shè)計(jì),使0.1μm級(jí)粒子計(jì)數(shù)器可嵌入裝備使用。

 

20200326120414209.png


應(yīng)用范圍:

作為傳感器嵌入到設(shè)備裝置中

潔凈室的清潔度管理

高清潔度區(qū)域的管理

20200326120440635.png


 

    

塵埃粒子計(jì)數(shù)器

    號(hào)

3950-00

粒子測(cè)量

測(cè)試方法

光散射法

粒徑通道

2粒徑(0.1、0.3μm

額定流量

0.1CFM2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921ISO21501-4)

測(cè)量時(shí)間

6~9959秒(1次測(cè)量時(shí)間)

間隔時(shí)間

6~9959秒(測(cè)量周期)

采樣次數(shù)

1~999次 或 連續(xù)測(cè)試

地點(diǎn)設(shè)定

99個(gè)地點(diǎn)

測(cè)量方式

重復(fù)、單次、連續(xù)、計(jì)算

測(cè)量數(shù)據(jù)顯示時(shí)間

1~10

測(cè)量數(shù)據(jù)顯示

累計(jì)值∑ 差分值△及柱形圖

最大可測(cè)濃度

10,000,000個(gè)/m3

計(jì)數(shù)效率

50±20%(相對(duì)于最小可測(cè)粒徑附近的PSL粒子)

100±10%(相對(duì)于最小可測(cè)粒徑的1.5~2倍的PSL粒子)

(符合JIS B9921 ISO21501-4

 計(jì) 數(shù)

<1個(gè)/35min

粒徑分辨率

15%以下(相對(duì)0.3μmPSL粒子)

(符合JIS B9921 ISO21501-4

    

內(nèi)置泵

顯示器

4.3英寸彩色液晶 觸摸屏

通迅功能

    

USBHost用于打印機(jī)、USB存儲(chǔ);Device用于與PC鏈接)

Ethernet、RS485960019200、38400 baud

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

    

內(nèi)存

數(shù)量、格式

最大10,000個(gè)、CSV格式

顯示語(yǔ)言

英文、日語(yǔ)

電   源

AC100~240V

使用環(huán)境

    

15~35℃、0~85%RH (無(wú)結(jié)露)

外形尺寸

W150 X H163 X D228 mm

重    量

3.4kg

 

Kanomax超小型粒子計(jì)數(shù)器3950自推出以來(lái)好評(píng)不斷,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、生物制藥、食品衛(wèi)生、空調(diào)凈化、精密機(jī)械等眾多行業(yè)測(cè)試領(lǐng)域。


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