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FS4001-500-CV-H氣體質(zhì)量流量計

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具體成交價以合同協(xié)議為準
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  • 所在地 廣州市
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更新時間:2023-04-20 15:53:45瀏覽次數(shù):316

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產(chǎn)品簡介

FS4001-500-CV-H氣體質(zhì)量流量計是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔氣體。*的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器

詳細介紹

                         FS4001-500-CV-H氣體質(zhì)量流量計

產(chǎn)品簡介:FS4001-500-CV-H氣體質(zhì)量流量計

FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔氣體。*的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

產(chǎn)品特點:


  - 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
  - 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳
  - 感器的高精度計量
  - 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
  - 傳感器的零點穩(wěn)定度高
  - 全量程高穩(wěn)定性
  - 全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
  - 低功耗
  - 低壓損
  - 響應(yīng)時間快

主要參數(shù):

性能參數(shù)FS4001單位
通 徑1.01.8mm
zui大流量30, 100, 200500, 1000SCCM
量程比≥100:1 
精 度±(1.5+0.2FS)%
重復(fù)性0.25%讀數(shù)
零點輸出飄移±30mV
輸出飄移±0.12%/oC
響應(yīng)時間4, 8, 16, 33 , 65 , 131mses
工作電源8~18Vdc,50mA 
輸出方式線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc 
zui大流量壓損350300pa
zui大工作壓力0.5MPa
工作溫度-10 ~ +55oC
存儲溫度-20 ~ +65oC
工作濕度<95%RH(無結(jié)冰、無凝露) 
機械接口可拆式軟管接頭 
校準方式空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa 
重量15g

 



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