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湘潭市三星儀器有限公司

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CVD化學氣相沉積裝置

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  • 湘潭市三星儀器有限公司
  • 2024-04-25 16:32:39
  • 湘潭市
  • 高新區(qū)東方金谷工業(yè)園
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【簡單介紹】

品牌 三元
CVD化學氣相沉積裝置由升華室、反應室、氣路系統(tǒng)、和真空系統(tǒng)組成,采用智能化程序控溫系統(tǒng),可控硅控制,控溫精度高;內置多個溫區(qū),可以營造不同的溫度梯度。用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等。

【詳細說明】

    CVD化學氣相沉積裝置由升華室、反應室、氣路系統(tǒng)、和真空系統(tǒng)組成,采用智能化程序控溫系統(tǒng),可控硅控制,控溫精度高;內置多個溫區(qū),可以營造不同的溫度梯度。用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等。

1、升華室主要包括有不銹鋼容器,不銹鋼高溫閥、壓力表、電熱合金絲發(fā)熱體、質子流量計、熱電偶、溫控裝置和保溫系統(tǒng)。主要用于對前驅體的加熱升華和調控通入反應室的氣體流量, 控溫溫度可以在100-700℃之間自由設定,由K分度號熱電偶+精密數(shù)顯程序控溫儀實現(xiàn)升華室溫度的自動程序升降,控溫精度:±1℃,升華室配置數(shù)量為2個。

2、反應室主要包括不銹鋼容器、壓力表、質子流量計、電熱合金絲發(fā)熱體、熱電偶、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)、載物臺??販販囟瓤梢栽?00-900℃之間自由設定,由K分度號熱電偶+精密數(shù)顯程序控溫儀實現(xiàn)反應室溫度的自動程序升降,控溫精度:±1℃,反應室配置數(shù)量為1個。

3、氣路系統(tǒng)采用∮6×1mm,316L材質不銹鋼管實現(xiàn)氣體的運輸、氣體流量的精確控制、減壓閥的準確快速切換以及廢氣的處理。在氣體運輸過程中,需要對管道進行加熱保溫處理,防止混合氣體在運輸過程中發(fā)生冷凝,加熱系統(tǒng)由K分度號熱電偶+智能數(shù)顯控溫儀+電熱合金絲發(fā)熱體實現(xiàn)氣路管道的溫度控制,控溫精度:±1℃。

4、真空系統(tǒng)主要用于控制反應室內壓強,保證化學氣相沉積反應能在預定的壓強下進行實驗,真空度:10Pa。

 

CVD化學氣相沉積

化學氣相沉積反應裝置

CVD管式爐

 

 

    
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