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小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù)，采用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來的二次污染。工作時(shí)外接一臺(tái)真空泵，清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，可短時(shí)間內(nèi)*清洗掉有機(jī)污染物，清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。另外，其樣品臺(tái)可選配加熱功能，可加負(fù)偏壓，用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。此外，其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。

技術(shù)參數(shù)

主要特點(diǎn)	采用氣體作為清洗介質(zhì),避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來的二次污染。
	可短時(shí)間內(nèi)*清洗掉有機(jī)污染物。
	清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。
	可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。
	清洗過程中的輝光放電可對(duì)某些特殊用途的材料加強(qiáng)粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌.
	樣品臺(tái)可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻.
	廣泛應(yīng)用于光學(xué),光電子學(xué),電子學(xué),材料科學(xué),生命科學(xué),高分子科學(xué),生物醫(yī)學(xué),微觀流體學(xué)等領(lǐng)域.
參數(shù)	電壓：AC220V 10A
	消耗功率：<500W（包括真空泵）
	RF電源：輸出功率100W，輸出頻率13.56MHz
	腔體：Φ190mm×98mm
	石英管：Φ180mm×55mm，壁厚7mm
	內(nèi)腔：Φ165mm×55mm
	清洗電極：Φ120mm
	樣品臺(tái)：Φ150mm，有效尺寸Φ140mm
	樣品臺(tái)與電極間距：15mm-50mm可調(diào)
	抽氣管：Φ12mm
	極限真空度：0.1Pa
	工作真空度：60Pa-500Pa
	氣路數(shù)量：2路（選裝）
	流量控制器數(shù)量：1、2
	流量顯示儀：2通道
	氣路接口：Φ6mm
	加熱樣品臺(tái)：Φ140mm，加熱樣品溫度RT-600℃±1℃（選裝）
	冷卻水壓力：0.2KPa-0.4KPa
	工作環(huán)境：溫度5℃-35℃，濕度<80%（相對(duì)濕度）不結(jié)露，海拔高度0-2000m
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵）
產(chǎn)品規(guī)格	重量：20kg（不含真空泵）
可選配置	加熱樣品臺(tái)
可選配置	流量控制器（量程10、50、100，多可增加2個(gè)通道）