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當(dāng)前位置：上海添時科學(xué)儀器有限公司>>雷博科學(xué)儀器>>工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備>> SP200噴膠機(jī)
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產(chǎn)品型號:SP200
品 牌:其他品牌
廠商性質(zhì):代理商
所 在 地:上海市
更新時間：2025-03-13 08:35:07瀏覽次數(shù)：2438次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 | 控溫范圍 | 50-150℃ |
|---|---|---|---|
| 溫度均勻性 | ±1% | 光刻膠流量 | 0.4-20ml/min |
| 加熱平臺轉(zhuǎn)速 | 1-30rpm | 噴嘴水平移動速度 | ≤200mm/s |
| 噴嘴水平行程 | ≤300mm | 光刻膠霧化直徑 | 30-50μm |
| 設(shè)備尺寸 | 1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H) |
噴膠機(jī)
適用于8英寸及以下晶圓的自動噴膠工藝
全封閉結(jié)構(gòu),不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板
高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺,具有晶圓真空吸附及自動頂升功能
供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào)
高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào)
觸摸式人機(jī)交互界面,可實現(xiàn)配方編輯及運行狀態(tài)監(jiān)控
產(chǎn)品參數(shù)
控溫范圍：50-150℃
溫度均勻性:±1%
3光刻膠流量:0.4-20ml/min
加熱平臺轉(zhuǎn)速:1-30rpm
噴嘴水平移動速度:≤200mm/s
噴嘴水平行程:≤300mm
光刻膠霧化直徑:30-50μm
設(shè)備尺寸:1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)
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